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詳細(xì)摘要： QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)輕量化設(shè)計(jì)、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)同步跳動(dòng)。產(chǎn)品設(shè)計(jì)滿足晶圓加工及檢測(cè)、輪廓測(cè)量...

詳細(xì)摘要： QFL系列單軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，外形緊湊，全行程直線度±0.2μm，可作單軸使用，或與其它軸組成多軸系統(tǒng)，用于飛秒激光加工，測(cè)試測(cè)量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等...

詳細(xì)摘要： RBZK系列雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)是中空結(jié)構(gòu)的，大尺寸通孔、高動(dòng)態(tài)性能滿足晶圓檢測(cè)應(yīng)用，同時(shí)適用于CCD成像、LED封裝檢測(cè)等其它制造等行業(yè)。

詳細(xì)摘要： QFHDS系列三軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu)，Z軸交叉滾柱結(jié)構(gòu)，用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、微納加工等行業(yè)。

詳細(xì)摘要： RBN-XYZ系列是一款高精度的三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，結(jié)構(gòu)緊湊，亞微米級(jí)重復(fù)定位精度用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測(cè)、測(cè)試測(cè)量、半導(dǎo)體、光纖對(duì)準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

詳細(xì)摘要： QFL3D系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的三軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，用于飛秒激光加工，超精密加工，測(cè)試測(cè)量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)等行業(yè)，由于非接觸式移動(dòng)，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)...

詳細(xì)摘要： NOTE系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)具有高定位、速度穩(wěn)定性和同步納米級(jí)跳動(dòng)誤差，可立式或臥式使用，出色的跳動(dòng)誤差滿足晶圓加工及檢測(cè)、超精密加工、輪廓測(cè)量、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和...

詳細(xì)摘要： NOTE-AB軸系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，高精度的正交性和軸心線重合度、納米級(jí)跳動(dòng)誤差，用于曲面精密加工、曲面測(cè)量等高精度行業(yè)。

詳細(xì)摘要： RBN系列單軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)是一款高精度的精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，具有亞微米級(jí)精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測(cè)、飛秒激光加工、光存儲(chǔ)、測(cè)試測(cè)量、光纖對(duì)準(zhǔn)和科研等領(lǐng)...

詳細(xì)摘要： RBZ-SG系列是一款長(zhǎng)行程的精密平升Z軸，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測(cè)、飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量、生物工程等高精度行業(yè)。

詳細(xì)摘要： 五軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)，型號(hào)RBXG-800-200-12D5-1R-15，用于晶圓加工、測(cè)量。行程800mm*200mm*12.5mm*1°*15m...

詳細(xì)摘要： RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z軸，亞微米級(jí)重復(fù)定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測(cè)、飛秒激光加工、光學(xué)制造和檢測(cè)、光纖對(duì)準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

詳細(xì)摘要： 三軸防水精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)RBXG-FS-200-200-150Z用于需要水冷卻的超精密加工應(yīng)用中，XY軸防水等級(jí)IPX6。

詳細(xì)摘要： QFU-170-360R雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)用于非接觸式或接觸式測(cè)量。行程170mm*360°。

詳細(xì)摘要： RBN-VC-L系列是研發(fā)出的一款高精度的雙軸真空運(yùn)動(dòng)臺(tái)，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，亞微米級(jí)定位精度，適用于高真空10^-7 Torr環(huán)境下應(yīng)用。