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精密Z軸

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參考價(jià)10000-120000/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)

    RBN-Z-CG系列
  • 品牌

    其他品牌
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    生產(chǎn)商
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  • 所在地

    北京市

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更新時(shí)間:2025-03-17 16:51:08瀏覽次數(shù):414

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

行程 100mm 重復(fù)定位精度 ±20nm
直線度和平面度 ±1.25μm內(nèi) 微動(dòng)步距 ≤1nm
RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z軸,亞微米級(jí)重復(fù)定位精度,高動(dòng)態(tài)性能,結(jié)構(gòu)緊湊,用于晶圓加工及檢測(cè)、飛秒激光加工、光學(xué)制造和檢測(cè)、光纖對(duì)準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)

  • 抗蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌

  • 高百納米級(jí)定位精度

  • 納米級(jí)微動(dòng)步距

  • 高動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能

  • 結(jié)構(gòu)行程可定制

產(chǎn)品細(xì)節(jié)圖


精密Z軸















結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

RBN-Z-CG系列精密Z軸側(cè)掛在龍門橫梁上使用,可與其它軸組成多軸系統(tǒng)。直驅(qū)結(jié)構(gòu),在低速時(shí)保持平穩(wěn),在高速時(shí)不產(chǎn)生振動(dòng)??谷鋭?dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌,滾柱間線接觸,比滾珠接觸面積大,交叉排列,多方向受力穩(wěn)定,該結(jié)構(gòu)可以把Z軸厚度降低,有利于行業(yè)應(yīng)用。


精度性能

非接觸式光柵閉環(huán)反饋,考慮熱膨脹和材料等影響,這種緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),搭配高性能控制系統(tǒng),獲得高重復(fù)定位精度,重復(fù)定位精度±20nm,直線度和平面度±1.25μm內(nèi),是高精度場(chǎng)所的理想選擇。


微動(dòng)步距

對(duì)有微動(dòng)步距(最小位移量)要求的應(yīng)用領(lǐng)域,如對(duì)準(zhǔn)應(yīng)用等,微動(dòng)步距≤1nm,對(duì)現(xiàn)場(chǎng)使用環(huán)境的要求,更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。


定制化設(shè)計(jì)

根據(jù)應(yīng)用可定制行程、配置大理石基座、立柱、橫梁和隔振臺(tái)等整套系統(tǒng)方案。



規(guī)格參數(shù)


精密Z軸

精密Z軸

精密Z軸

注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±1℃(重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm,測(cè)量時(shí)溫度20℃±0.01℃),濕度40%~60%RH,普通版振動(dòng)等級(jí)VC-E,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測(cè)試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試,請(qǐng)咨詢我們。

1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

3. 空載條件下指標(biāo),MAX速度和加速度取決于負(fù)載大小。

4. 無(wú)特殊項(xiàng)目要求,出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。


售后服務(wù)


質(zhì)保期為驗(yàn)收合格后12個(gè)月。

我公司在2小時(shí)內(nèi)響應(yīng)維護(hù)服務(wù),24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)維護(hù),為更好的做產(chǎn)品售后服務(wù)工作,及時(shí)接收用戶反饋的問(wèn)題。

免費(fèi)的電話咨詢和服務(wù);

反饋時(shí)間不超過(guò)2小時(shí);

如果需要到現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),質(zhì)保期外的我公司只收取人員的差旅費(fèi)(北京市內(nèi)除外)質(zhì)保期外的,硬件如果需要更換或修理,只收取硬件的成本;

設(shè)備正常運(yùn)行驗(yàn)收后,我公司指派專業(yè)工程師負(fù)責(zé)在現(xiàn)場(chǎng)為貴單位提供不受人員限制的產(chǎn)品設(shè)備培訓(xùn),培訓(xùn)內(nèi)容包括:設(shè)備正確操作使用知識(shí);識(shí)別初級(jí)故障及必要的恢復(fù)方法;常見(jiàn)故障排除方法。





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