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詳細摘要： RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z軸，亞微米級重復(fù)定位精度，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、光學(xué)制造和檢測、光纖對準和科研等領(lǐng)域。