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雙軸真空運動臺

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參考價 1
訂貨量 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 RBN-VC-L
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市

在線詢價 收藏產(chǎn)品 加入對比

更新時間:2025-03-17 15:02:19瀏覽次數(shù):268

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產(chǎn)品簡介

RBN-VC-L系列是研發(fā)出的一款高精度的雙軸真空運動臺,具有納米級微動步距,亞微米級定位精度,適用于高真空10^-7 Torr環(huán)境下應(yīng)用。

詳細介紹

產(chǎn)品簡介

       X軸行程380mm,Y軸行程200mm,高真空直線電機驅(qū)動,在低速運行時保持平穩(wěn),在高速狀態(tài)不產(chǎn)生振動。
       真空交叉滾柱直線導軌導向,滾柱是線接觸,比滾珠接觸面積大,運動平穩(wěn),交叉排列,多方向受力穩(wěn)定。十字疊層結(jié)構(gòu),使整體結(jié)構(gòu)更緊湊。真空潤滑脂涂抹在真空導軌上,不易揮發(fā)。
       盡可能的消除盲孔,在盲孔和螺栓處有通孔,保證安裝孔開放式結(jié)構(gòu)。結(jié)構(gòu)件選用航空鋁合金件,清洗加工表面,高低溫熱處理消除加工應(yīng)力,確保使用的長期穩(wěn)定性。
       使用聚四氟乙烯材質(zhì)的墊圈;螺釘中心帶通孔,結(jié)構(gòu)件消除盲孔,方便通風排氣;軸側(cè)面無防塵設(shè)計,方便通風排氣;線纜外表為特氟龍材質(zhì),適用真空環(huán)境;提供真空腔外的配套連接法蘭及線纜。


規(guī)格指標

軸系

測試項目

單位

指標要求

實測指標

X

行程

mm

380

380

補償后定位精度

μm

±0.75

±0.15

雙向重復定位精度

μm

±0.2

±0.1

直線度

μm

±3

±1.45

Yaw

arc sec

±15

±7.45

Pitch

arc sec

±15

±2.9

工作速度

mm/s

100

200

加速度

g

0.1

0.1

微動步距

nm

10

10

Y

行程

mm

200

200

補償后定位精度

μm

±0.75

±0.2

雙向重復定位精度

μm

±0.1

±0.1

直線度

μm

±1.5

±1.2

Yaw

arc sec

±7

±5

Pitch

arc sec

±7

±3

工作速度

mm/s

100

100

加速度

g

0.1

0.1

微動步距

nm

10

10

XY

負載

kg

15

15



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