詳細介紹
產(chǎn)品簡介
X軸行程380mm,Y軸行程200mm,高真空直線電機驅(qū)動,在低速運行時保持平穩(wěn),在高速狀態(tài)不產(chǎn)生振動。
真空交叉滾柱直線導軌導向,滾柱是線接觸,比滾珠接觸面積大,運動平穩(wěn),交叉排列,多方向受力穩(wěn)定。十字疊層結(jié)構(gòu),使整體結(jié)構(gòu)更緊湊。真空潤滑脂涂抹在真空導軌上,不易揮發(fā)。
盡可能的消除盲孔,在盲孔和螺栓處有通孔,保證安裝孔開放式結(jié)構(gòu)。結(jié)構(gòu)件選用航空鋁合金件,清洗加工表面,高低溫熱處理消除加工應(yīng)力,確保使用的長期穩(wěn)定性。
使用聚四氟乙烯材質(zhì)的墊圈;螺釘中心帶通孔,結(jié)構(gòu)件消除盲孔,方便通風排氣;軸側(cè)面無防塵設(shè)計,方便通風排氣;線纜外表為特氟龍材質(zhì),適用真空環(huán)境;提供真空腔外的配套連接法蘭及線纜。
規(guī)格指標
軸系 | 測試項目 | 單位 | 指標要求 | 實測指標 |
X 軸 | 行程 | mm | 380 | 380 |
補償后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±3 | ±1.45 | |
Yaw | arc sec | ±15 | ±7.45 | |
Pitch | arc sec | ±15 | ±2.9 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 200 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微動步距 | nm | 10 | 10 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補償后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.2 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
Yaw | arc sec | ±7 | ±5 | |
Pitch | arc sec | ±7 | ±3 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微動步距 | nm | 10 | 10 | |
XY | 負載 | kg | 15 | 15 |