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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

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參考價(jià)50000-100000/ 件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)

    NOTE系列
  • 品牌

    其他品牌
  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商
  • 產(chǎn)品資料

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  • 所在地

    北京市

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更新時(shí)間:2025-03-18 15:56:39瀏覽次數(shù):901

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

定位精度 ±0.5arc sec 同步軸向跳動(dòng)誤差 10nm
NOTE系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)具有高定位、速度穩(wěn)定性和同步納米級(jí)跳動(dòng)誤差,可立式或臥式使用,出色的跳動(dòng)誤差滿足晶圓加工及檢測(cè)、超精密加工、輪廓測(cè)量、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和MEMS納米技術(shù)設(shè)備等行業(yè)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 閉式氣浮軸承結(jié)構(gòu);

  • 直驅(qū)零齒槽效應(yīng);

  • 高速度穩(wěn)定性;

  • 百納米跳動(dòng)誤差;

  • 立式或臥式使用

  • 解決氣浮軸抱死問題;


產(chǎn)品圖片


氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)


 

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
由無(wú)齒槽直驅(qū)力矩電機(jī)、閉式氣浮軸承和精密反饋裝置組成,徑向雙氣路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使徑向有出色的載荷力,安裝結(jié)構(gòu)上可選擇立式或臥式使用,且能組合AB氣浮軸,達(dá)到高正交性及高相交度。無(wú)齒槽設(shè)計(jì)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射,適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動(dòng),無(wú)氣浮軸抱死問題。


精度性能

NOTE系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度±0.5arc sec, 重復(fù)定位精度≤0.5arc sec, 同步軸向跳動(dòng)誤差100nm,同步徑向跳動(dòng)誤差150nm, 擺角誤差3μrad, 電動(dòng)控制和手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)跳動(dòng)誤差一致,使用壽命10年以上。


閉環(huán)反饋

圓光柵閉環(huán)反饋,運(yùn)用高性能控制系統(tǒng),分辨率優(yōu)于0.01arc sec,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上,氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)能精準(zhǔn)回到零點(diǎn)位置。


定制化

氣浮AB軸滿足曲面加工、測(cè)試的應(yīng)用??啥ㄖ瓢惭b滑環(huán),用于空間模擬裝置,MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。


規(guī)格指標(biāo)

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±0.5℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-F,測(cè)試點(diǎn)在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面上25mm處,測(cè)試速度10deg/s,Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測(cè)量,精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如需非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試,請(qǐng)咨詢我們。

1. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

2. 空載條件下指標(biāo),MAX轉(zhuǎn)速取決于負(fù)載大小。

3. 為保護(hù)氣浮軸承建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的(過濾至0.25μm或更佳,ISO8573-1),無(wú)水(壓力露點(diǎn)-20℃,ISO8573-1級(jí)別3)及無(wú)油(ISO8573-1級(jí)別1)。

4. 無(wú)特殊項(xiàng)目要求,出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。



售后服務(wù)

      質(zhì)保期為驗(yàn)收合格后12個(gè)月。
      我公司在2小時(shí)內(nèi)響應(yīng)維護(hù)服務(wù),24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)維護(hù),為更好的做產(chǎn)品售后服務(wù)工作,及時(shí)接收用戶反饋的問題。
      免費(fèi)的電話咨詢和服務(wù);
      反饋時(shí)間不超過2小時(shí);
      如果需要到現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),質(zhì)保期外的我公司只收取人員的差旅費(fèi)(北京市內(nèi)除外)質(zhì)保期外的,硬件如果需要更換或修理,只收取硬件的成本;
      設(shè)備正常運(yùn)行驗(yàn)收后,我公司指派專業(yè)工程師負(fù)責(zé)在現(xiàn)場(chǎng)為貴單位提供不受人員限制的產(chǎn)品設(shè)備培訓(xùn),培訓(xùn)內(nèi)容包括:設(shè)備正確操作使用知識(shí);識(shí)別初級(jí)故障及必要的恢復(fù)方法;常見故障排除方法。






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