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詳細(xì)摘要： QFHDS系列三軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu)，Z軸交叉滾柱結(jié)構(gòu)，用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、微納加工等行業(yè)。

詳細(xì)摘要： QFL3D系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的三軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，用于飛秒激光加工，超精密加工，測(cè)試測(cè)量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)等行業(yè)，由于非接觸式移動(dòng)，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)...