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氣浮平臺(tái)的精度是精密機(jī)械的核心。我公司為微光微刻技術(shù)、CNC加工、生物技術(shù)、IC封裝設(shè)備、納米表面形貌測(cè)量等領(lǐng)域提供了一種能實(shí)現(xiàn)精確定位和精確移動(dòng)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

氣浮平臺(tái)是光刻機(jī)貼片機(jī)等電子制造設(shè)備的主要工作機(jī)構(gòu)。伴隨著電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，產(chǎn)品的體積越來越小，對(duì)精度的要求越來越高。所以，高精度、高穩(wěn)定性的移動(dòng)平臺(tái)對(duì)于電子設(shè)備的發(fā)展有著舉足輕重的作用。另外，微電子系統(tǒng)制造和測(cè)試、光學(xué)測(cè)量加工、超精密加工、航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)量制造等領(lǐng)域都離不開精密定位技術(shù)。因?yàn)榭諝廨S承精度比滾動(dòng)軸承高兩個(gè)數(shù)量級(jí)，且精度高，摩擦系數(shù)小，工作環(huán)境極限，采用氣浮臺(tái)方案是精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)的理想選擇。

氣浮平臺(tái)分為氣浮直線平臺(tái)與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，由氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承導(dǎo)向，直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)及光柵尺閉環(huán)反饋組成氣浮平臺(tái)。直驅(qū)運(yùn)動(dòng)不存在中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)，提高平臺(tái)的整體精度，運(yùn)行速度平穩(wěn)。負(fù)載慣量和系統(tǒng)帶寬相對(duì)較大，有良好的動(dòng)態(tài)特性。

基于空氣軸承的基本原理，實(shí)現(xiàn)無摩擦和無振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無污染等特點(diǎn)。同時(shí)還具有誤差均化作用，來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量設(shè)備、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。氣浮平臺(tái)在氣體潤滑的表現(xiàn)上看，承載能力、氣體流量均有超常規(guī)表現(xiàn)，特別是最關(guān)鍵的性能指標(biāo)位移精度上，相對(duì)于傳統(tǒng)導(dǎo)軌有著成數(shù)量級(jí)的明顯優(yōu)勢(shì)，精密機(jī)械、測(cè)量儀器等領(lǐng)域使用氣浮導(dǎo)軌是行業(yè)發(fā)展的必然趨勢(shì)。