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球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

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日立高新技術(shù)（上海）國(guó)際貿(mào)易有限公司北京分公司

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專(zhuān)用掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國(guó)CEOS GmbH公司(總經(jīng)理Max Haider先生)共同開(kāi)發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。最近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)M(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí)，該型號(hào)系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級(jí)。

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球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

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球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

專(zhuān)用掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國(guó)CEOS GmbH公司(總經(jīng)理Max Haider先生)共同開(kāi)發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。
最近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)M(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí)，該型號(hào)系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級(jí)。

特點(diǎn)
技術(shù)指標(biāo)

特點(diǎn)

高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像

HAADF-STEM圖像0.136 nm，F(xiàn)FT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
HAADF-STEM圖像0.144 nm(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)
明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)

高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍

元素面分布更迅速及時(shí)
低濃度元素檢測(cè)

操作簡(jiǎn)化

自動(dòng)圖像對(duì)中功能

從樣品制備到觀察分析實(shí)現(xiàn)無(wú)縫連接

樣品桿與日立聚焦離子束系統(tǒng)兼容

配有各種選購(gòu)件可執(zhí)行各種評(píng)估和分析操作

同時(shí)獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至)
高精度放大校準(zhǔn)和測(cè)量*
實(shí)時(shí)衍射單元*(同時(shí)觀察暗場(chǎng)-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
采用三維微型柱旋轉(zhuǎn)樣品桿(360度旋轉(zhuǎn))*，具有自動(dòng)傾斜圖像獲取功能。
ELV-3000即時(shí)元素面分布系統(tǒng)*(同時(shí)獲取暗場(chǎng)-掃描透射電子顯微鏡圖像)

* ：: 選購(gòu)件

技術(shù)指標(biāo)

HD-2700球差校正掃描式透射電子顯微鏡

項(xiàng)目		描述
圖像分辨率	w/o球差校正儀	保證 0.204 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為4,000,000時(shí))
	w球差校正儀	保證 0.144 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)
	w球差校正儀	保證 0.136 nm(HAADF圖像) 保證 0.105 nm(通過(guò)FFT)(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(高分辨率鏡頭*)
放大倍數(shù)		100倍至 10,000,000倍
加速電壓		200 kV, 120 kV *
成像信號(hào)		明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡：相襯圖像(TE圖像) 暗場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡：原子序數(shù)襯度圖像(Z襯度圖像) 二次電子圖像(SE圖像) 電子衍射* 特征X射線分析和面分布(能譜分析)* 電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)*
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子源	肖特基發(fā)射電子源
	電子源	冷場(chǎng)致發(fā)射器*
	照明透鏡系統(tǒng)	2-段聚光鏡鏡頭
	球差校正儀*	六極鏡頭設(shè)計(jì)
	掃描線圈	2-段式電磁感應(yīng)線圈
	原子序數(shù)襯度收集角控制	投影鏡設(shè)計(jì)
	電磁圖像位移	±1 µm
試片鏡臺(tái)	樣品移動(dòng)	X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm
試片鏡臺(tái)	樣品傾斜	單軸-傾斜樣品桿：±30°(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭*)
真空系統(tǒng)		3個(gè)離子泵，1個(gè)TMP
真空系統(tǒng)	極限真空	10^-8 Pa(電子槍), 10^-5 Pa(樣品室)
圖像顯示	個(gè)人電腦／操作系統(tǒng)	PC/AT兼容, Windows^® XP
	監(jiān)視器	19-inch液晶顯示器面板
	圖像幀尺寸	640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
	掃描速度	快掃，慢掃(0.5至320秒/幀)
	自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示	記錄序號(hào)，加速電壓，下標(biāo)尺，日期，時(shí)間