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半導體生產用純水設備
超純水設備是用在反滲透等水處理工藝之后,用來制取超純水的水處理設備。設備將陰、陽離子按照比例混合裝填于同一容器內,使其處理后的水質電導率可低于1uS/cm以下,出水電阻率達到10MΩ.cm以上,根據(jù)不同行業(yè)的用水要求,可將出水電阻率可控制在1-18MΩ.cm之間。
半導體生產用純水設備特點
超純水傳統(tǒng)的制備工藝通常是采用離子交換樹脂進行制取,但采用離子交換樹脂通常需要經常性的進行樹脂再生,即耗費物力又浪費人工,我們公司經過多年實踐,同時結合新的膜分離技術,采用反滲透加離子交換系統(tǒng)(或EDI)相結合研發(fā)的各行業(yè)用超純水設備,運行可靠。與新工藝相比具有造價低,系統(tǒng)穩(wěn)定等優(yōu)點。