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在半導(dǎo)體加工的過程中,需要用水進(jìn)行處理,該水質(zhì)的要求非常高,不能含有任何離子雜質(zhì),因此只有超純水符合行業(yè)用水要求。但超純水的回用率不高,因此對優(yōu)質(zhì)超純水的需求量很大。傳統(tǒng)的超純水制備方法主要有蒸餾法和離子交換法。蒸餾設(shè)備要求嚴(yán)格,產(chǎn)量低,能耗高。離子交換法再生失效的離子交換樹脂需要大量的酸堿溶液和大量的清洗水,勞動強(qiáng)度高??梢钥闯?,這些傳統(tǒng)方法不適合生產(chǎn)高純度的超純水。
萊特萊德半導(dǎo)體超純水設(shè)備設(shè)計采用成熟、可靠、高度自動化的兩級ro+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后的水電阻和電電阻達(dá)到18MΩ.CM以上。厘米該設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水,不會因樹脂再生而停止運行。設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計相對緊湊,占地面積小,可為企業(yè)節(jié)省大量空間。半導(dǎo)體超純水設(shè)備出廠前需進(jìn)行壓力試驗。設(shè)備故障概率小,日常維護(hù)和維修操作非常簡單。半導(dǎo)體超純水設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),再次從根本上確保了水處理設(shè)備的出水質(zhì)量。