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什么是高精度運(yùn)動(dòng)臺(tái)2022/07/30: 高精度運(yùn)動(dòng)臺(tái)簡(jiǎn)單理解可以為負(fù)載做直線或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)精確定位。對(duì)于使用者而言簡(jiǎn)述為控制負(fù)載走多大的位移、以多大的速度及加速度運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)形式分類：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)和連續(xù)運(yùn)動(dòng)，多數(shù)客戶關(guān)心負(fù)載移動(dòng)到位置的定位精度、重復(fù)定位精度、整定時(shí)間及位置穩(wěn)定性等要求，同時(shí)也會(huì)關(guān)住軌跡過(guò)程中的運(yùn)動(dòng)情況：勻速段的速度穩(wěn)定性、跟隨誤差、加減速過(guò)程中的位置超調(diào)等。高精度設(shè)備對(duì)于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的需求不僅在于精準(zhǔn)定位，還有關(guān)注6個(gè)自由度的精度要求。從控制角度理解，無(wú)論是時(shí)域或者頻域分析，一套精密的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)動(dòng)態(tài)特性與系統(tǒng)帶寬、平臺(tái)剛度、

什么是氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，特點(diǎn)有哪些，指標(biāo)參數(shù)如何2022/06/18: 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)簡(jiǎn)述：氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)無(wú)減速機(jī)、皮帶等中間機(jī)構(gòu)，而直接與負(fù)載連接并提供動(dòng)力和動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)形式。通過(guò)排除中間結(jié)構(gòu)，動(dòng)力傳遞系統(tǒng)的剛性提高，并可進(jìn)行無(wú)齒隙基礎(chǔ)上的高速且精密的驅(qū)動(dòng)。由此可獲得各種優(yōu)點(diǎn)，如無(wú)反向間隙，定位精度高，提高機(jī)械性能，節(jié)省空間及降低維護(hù)成本等。氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)選用力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)負(fù)載，既消除了齒隙回差，又縮短了傳動(dòng)鏈，使機(jī)械結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，使控制系統(tǒng)具有反應(yīng)速度快，線性度好等優(yōu)點(diǎn)，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性及靜態(tài)，動(dòng)態(tài)控制精度。氣浮軸承和力矩電機(jī)配合使用,提高了轉(zhuǎn)臺(tái)的承載能力，并使氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定制需要注意哪些事項(xiàng)2022/06/18: 氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定制包含機(jī)械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)兩大方面1.機(jī)械系統(tǒng)：直線平臺(tái)和轉(zhuǎn)臺(tái)（氣浮和線性導(dǎo)軌兩種類型）。以下為機(jī)械系統(tǒng)中關(guān)于運(yùn)動(dòng)部分需要注意的重要技術(shù)指標(biāo)。直線平臺(tái)：定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平面度、俯仰角、偏擺角、速度、加速度、最小步距、整定時(shí)間、負(fù)載、多軸正交性。轉(zhuǎn)臺(tái)：定位精度、重復(fù)定位精度、軸向跳動(dòng)、徑向跳動(dòng)、偏擺角、負(fù)載、轉(zhuǎn)速、臺(tái)面直徑。2.控制系統(tǒng)：控制器硬件接口：控制軸數(shù)；模擬量信號(hào)輸入、輸出；數(shù)字量信號(hào)輸入、輸出；特殊編碼器反饋通道（BISS、Endat等協(xié)議）?？刂破鬈浖壕?

多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)的分類應(yīng)用和特點(diǎn)2022/06/18: 多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)按XYZAB結(jié)構(gòu)組合形式，其中分類為:1.XY軸:十字疊層結(jié)構(gòu)；龍門(mén)雙驅(qū)結(jié)構(gòu)；橋梁上X軸，基座上Y軸2.XYZ軸：XY十字疊層+側(cè)掛Z軸；XY十字疊層+平升Z軸；XZ十字疊層+Y軸；XY龍門(mén)雙驅(qū)+側(cè)掛Z軸、XY龍門(mén)雙驅(qū)+平升Z軸3.AB轉(zhuǎn)臺(tái)：L型AB軸、搖籃式AB軸4.五軸：XYZ軸形式與AB轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)合結(jié)構(gòu)多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)組合使用關(guān)鍵點(diǎn)：?jiǎn)屋S6自由度指標(biāo)分解，多軸組合后負(fù)載在空間中6自由度指標(biāo)。其中對(duì)于Pitch/Roll/Yaw角度重復(fù)性控制和多軸正交性（AB軸正交性）控制為國(guó)內(nèi)急缺少的

精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)都有哪些指標(biāo)2022/06/18: 精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)以下技術(shù)指標(biāo)參數(shù)：1.定位精度：指令位置與測(cè)量設(shè)備（RenishawXL80激光干涉儀）檢測(cè)的位置之間的誤差，比如要求一個(gè)軸走100mm,結(jié)果實(shí)際上它走了100.01，那定位精度是0.01mm。2.重復(fù)定位精度：在相同條件下，系統(tǒng)被重復(fù)地命令到一個(gè)位置時(shí)所達(dá)到的位置范圍。單向重復(fù)性是通過(guò)從一個(gè)方向接近一個(gè)點(diǎn)來(lái)測(cè)量，雙向重復(fù)性度量從兩個(gè)方向返回到點(diǎn)的能力。比如要求一個(gè)軸走10mm,結(jié)果實(shí)際上走了10.01、10.015、10.013，重復(fù)定位精度是0.005mm。定位精度是可以通過(guò)補(bǔ)償來(lái)

精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)Z軸應(yīng)用和特點(diǎn)2022/05/04: 隨著半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)對(duì)于焦深要求愈來(lái)愈高，瑞邦精控著力開(kāi)發(fā)精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)。精密Z軸主要特點(diǎn)：1、重載大行程，可承載50Kg，行程50mm。2、重復(fù)定位精度0.2μm。3、高剛性，高動(dòng)態(tài)特性、系統(tǒng)帶寬大于100Hz。4、直驅(qū)力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)、滾珠絲杠和交叉滾柱導(dǎo)軌帶來(lái)高導(dǎo)向精度和剛性，精密交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向、可選雙編碼器（旋轉(zhuǎn)編碼器和直線光柵尺）做全閉環(huán)控制，可選配全密封防護(hù)。5、相對(duì)側(cè)掛Z軸，平升位移臺(tái)能夠直接使負(fù)載平面升降，結(jié)構(gòu)更緊湊。為保證精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)穩(wěn)定性和高精度要求，北京瑞邦精控在以下幾方面做嚴(yán)格要求

超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的意義和應(yīng)用領(lǐng)域有哪些2022/05/04: 超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)在超精密加工及檢測(cè)中扮演重要角色，隨著超精密加工技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于加工裝備精度的要求越來(lái)越高，特別是微電子技術(shù)和微流控制系統(tǒng)的快速發(fā)展，零部件的結(jié)構(gòu)尺寸急劇減小并精細(xì)，對(duì)于精度的要求已經(jīng)達(dá)到亞微米級(jí)，甚至是納米級(jí)。許多傳統(tǒng)的加工方法獲得的產(chǎn)品質(zhì)量難以滿足發(fā)展需求，超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)作為核心零部件應(yīng)運(yùn)而生，越來(lái)越多的企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)對(duì)于超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的領(lǐng)域投入大量人力物力，成為行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)，各個(gè)企業(yè)的水平不一。超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)作為超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)一個(gè)重要的分支，北京瑞邦精控深耕多年，對(duì)于氣浮平臺(tái)

精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)有哪些優(yōu)勢(shì)2022/05/04: 精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)有直線運(yùn)動(dòng)、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及傾角運(yùn)動(dòng)等，這些都是實(shí)現(xiàn)精密定位不可分割的一部分，單從直線運(yùn)動(dòng)來(lái)說(shuō)，又分滾珠絲桿結(jié)構(gòu)、直驅(qū)線軌結(jié)構(gòu)、直驅(qū)氣浮結(jié)構(gòu)、液壓結(jié)構(gòu)及磁懸浮結(jié)構(gòu)等。不同的結(jié)構(gòu)分別有不同的精度。現(xiàn)階段市場(chǎng)上應(yīng)用最多的是滾珠絲桿結(jié)構(gòu)和直驅(qū)線軌結(jié)構(gòu)，相對(duì)比較精度會(huì)低些，那氣浮結(jié)構(gòu)有哪些優(yōu)勢(shì)呢？氣浮結(jié)構(gòu)是解決超精密應(yīng)用中的一部分，其結(jié)構(gòu)由高性能直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，光柵尺和氣浮導(dǎo)軌等主要部件組成。無(wú)鐵芯直線電機(jī)特點(diǎn)是無(wú)齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)性能及電流噪音小等；配置低熱膨脹系數(shù)的光柵反饋；氣浮導(dǎo)軌接近零的摩擦系數(shù)

精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的測(cè)試方法是什么2022/05/04: 我們常見(jiàn)的精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)平臺(tái)在各種加工及測(cè)試設(shè)備中，為了保證這個(gè)系統(tǒng)的精度，那用什么方法和標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)它的精度呢，下面的這些內(nèi)容不可以忽視。首先我們談下標(biāo)準(zhǔn)，在行業(yè)的規(guī)則里，都是按照數(shù)控機(jī)床的規(guī)范ISO230-2，GB/T17421實(shí)施的。當(dāng)然德國(guó)VDI,日本JIS等不同國(guó)家有不同的標(biāo)準(zhǔn)，總體來(lái)說(shuō)，最終是根據(jù)用戶的應(yīng)用作為參考的，在國(guó)內(nèi)用的最多的是ISO和GB標(biāo)準(zhǔn)。其次關(guān)于測(cè)量?jī)x器，行業(yè)通用默認(rèn)的是雷尼紹的氦氖激光干涉儀進(jìn)行測(cè)試直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度，根據(jù)不同的鏡組，對(duì)于直線臺(tái)的定位精度、重復(fù)定位精度、直線

精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)為什么是良好的應(yīng)用2022/04/27: 在平時(shí)所見(jiàn)的設(shè)備系統(tǒng)中，精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)是一種常見(jiàn)的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，通過(guò)精密直線導(dǎo)軌，直驅(qū)電機(jī)、光柵尺反饋及控制系統(tǒng)組成，廣泛應(yīng)用于激光加工、測(cè)試測(cè)量、電子元件組裝和檢驗(yàn)、掃描及自動(dòng)化裝配等領(lǐng)域。那么有哪些特點(diǎn)呢？首先采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，非常適合要求高精度的需求，特點(diǎn)是無(wú)齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)性能及電流噪音小等，其不會(huì)與磁鐵發(fā)生不良反應(yīng)，在低速運(yùn)行時(shí)也能保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)系也不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。其次配長(zhǎng)壽命的精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)，然后配置非接觸式光柵閉環(huán)反饋，優(yōu)化考慮熱膨脹的設(shè)計(jì)，并且搭配*

龍門(mén)運(yùn)動(dòng)臺(tái)有哪些優(yōu)勢(shì)2022/04/27: 如今在機(jī)械設(shè)備行業(yè)上會(huì)出現(xiàn)各種精度的設(shè)備，各種結(jié)構(gòu)不一，對(duì)于有些用戶而言可能了解的不是很多，那么我們今天聊一聊龍門(mén)運(yùn)動(dòng)臺(tái)，為什么成為一種選擇趨勢(shì)？首先我們應(yīng)該知道龍門(mén)運(yùn)動(dòng)臺(tái)是什么，它是由基座、立柱及橫梁組成的結(jié)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)部件在立柱間往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)精密定位。兩個(gè)立柱上安裝運(yùn)動(dòng)部件，我們稱為龍門(mén)雙驅(qū)軸，實(shí)現(xiàn)前后移動(dòng)；橫梁上安裝運(yùn)動(dòng)部件稱為掃描軸，實(shí)現(xiàn)左右移動(dòng)，兩個(gè)方向可聯(lián)動(dòng)，提升工作效率。比如應(yīng)用到芯片的拾取與貼合，那么它有哪些優(yōu)勢(shì)呢？瑞邦精控的龍門(mén)運(yùn)動(dòng)臺(tái)是直驅(qū)結(jié)構(gòu)的，是由直線電機(jī)、光柵尺及精密導(dǎo)軌組

平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)為什么能夠得到市場(chǎng)的認(rèn)可2022/04/27: 隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備的性能必須提高，瑞邦精控在高精度應(yīng)用領(lǐng)域也擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)過(guò)多年的行業(yè)技術(shù)沉淀之后，為大家?guī)?lái)一款超精密平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)。采用有限元分析優(yōu)化的碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)和氣浮軸承補(bǔ)償設(shè)計(jì)技術(shù)，提高精度的同時(shí)，也提供了動(dòng)態(tài)性能。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)，微納加工、納米級(jí)飛切拋光加工及高速掃描等行業(yè)。平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)才之所以能夠得到企業(yè)的認(rèn)可，是因?yàn)樗哂兄{米級(jí)別的跳動(dòng)，而且還擁有著高速度的穩(wěn)定性，同時(shí)還可以有效提高定位的精度，所以在使用的過(guò)程中非常適合于目前的

氣浮直線臺(tái)主要的特點(diǎn)有哪些2022/04/23: 在常見(jiàn)的工業(yè)設(shè)備中，經(jīng)常性會(huì)看到一些高精密設(shè)備，其中出現(xiàn)幾率比較高的，就是氣浮直線臺(tái)，但是在使用的過(guò)程中它到底有著什么樣的特點(diǎn)呢？大部分的人可能都不會(huì)特別了解，首先我們了解的氣浮直線臺(tái)的直線度和平面度在亞微米級(jí)別，因?yàn)闅飧?dǎo)軌在使用過(guò)程中實(shí)現(xiàn)的無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)，具有清潔無(wú)污染，免維護(hù)，運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)。那為什么氣浮直線臺(tái)的直線度和平面度比機(jī)械線軌的精度高？其實(shí)我們可以猜測(cè)到，2種產(chǎn)品的導(dǎo)軌是不同的，機(jī)械導(dǎo)軌是摩擦式的，氣浮導(dǎo)軌是無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)，通過(guò)壓縮空氣使氣浮導(dǎo)軌達(dá)到潤(rùn)滑的作用，中間無(wú)機(jī)械摩擦，摩擦的系

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)為什么能夠備受大家的認(rèn)可2022/04/23: 氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)逐漸得到大家的認(rèn)可。如今的制造業(yè)早已進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，傳統(tǒng)的絲桿驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)或直驅(qū)線軌臺(tái)影響到了很多檢測(cè)設(shè)備的性能。在運(yùn)動(dòng)控制方面憑借著專業(yè)的經(jīng)驗(yàn)早就已經(jīng)推出很多不一樣的產(chǎn)品，如果仔細(xì)觀察生產(chǎn)現(xiàn)狀，就會(huì)發(fā)現(xiàn)有一種氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，具有著更好的效果，那么它到底有哪一些特點(diǎn)？首先氣浮導(dǎo)軌接近零的摩擦系數(shù)，較高的直線度和平度誤差，而且還擁有著直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，整體的穩(wěn)定性比較出色，定位精度是在亞微米級(jí)別，速度可以達(dá)到2m/s，加速度可達(dá)到2g，所以氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)已經(jīng)開(kāi)始得到各個(gè)企業(yè)的認(rèn)可。它的結(jié)構(gòu)可以完成

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)主要有哪些優(yōu)點(diǎn)2021/06/07: 隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會(huì)用到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)，微納加工，測(cè)試測(cè)量等，但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢(shì)。1.直線度和平面度高2.定位精度和重復(fù)定位高3.速度穩(wěn)定性高4.偏擺、俯仰、滾動(dòng)精度高氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了氣膜剛度的參數(shù)區(qū)間有著出色的性能精度，實(shí)現(xiàn)速度2米/秒，能夠擁

線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)是什么2021/05/24: 在目前的機(jī)械行業(yè)，早就已經(jīng)不知不覺(jué)出現(xiàn)許多的設(shè)備，而這些設(shè)備在使用的過(guò)程中能夠有效提升工作效率，但是大部分的人可能都不了解線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)是種什么樣的形式，簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是利用直線導(dǎo)軌導(dǎo)向的精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)。線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)是由直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，精密光柵尺反饋和直線導(dǎo)軌導(dǎo)向組成的，其中滾輪直線導(dǎo)軌，圓柱直線導(dǎo)軌，滾珠直線導(dǎo)軌都屬于直線導(dǎo)軌，又稱線軌、滑軌、線性導(dǎo)軌及線性滑軌，每個(gè)人的叫法不同。線軌主要是用來(lái)支撐運(yùn)動(dòng)部件的，在使用的過(guò)程中起到導(dǎo)向的作用，也可以按照移動(dòng)方向來(lái)不斷的做直線運(yùn)動(dòng)。首先采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，非常

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是一種什么樣的設(shè)備2020/12/13: 其實(shí)在科研或制造業(yè)中可以看到一些搭載氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的專業(yè)設(shè)備，這些專業(yè)的設(shè)備在使用的過(guò)程中能夠有效的保證精度性能，相比機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)發(fā)揮著很大的作用，更能保證精度，但是在看到眾多的設(shè)備時(shí)，大部分的人可能都不知道這中間到底有什么樣的優(yōu)勢(shì)，比如可以來(lái)看一下氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是什么回事呢？氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是設(shè)法把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來(lái)，并可以穩(wěn)定的高精度的旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的空氣壓力來(lái)實(shí)現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，保證了轉(zhuǎn)動(dòng)軸的懸浮，獲得了較高的軸向和徑向跳動(dòng)誤差。高速度，高精度，無(wú)摩擦力，無(wú)磨損，不需要潤(rùn)滑油，有較

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)晶圓測(cè)量方案2020/04/07: 晶圓測(cè)量晶圓測(cè)量系統(tǒng)在以生產(chǎn)快速運(yùn)行時(shí)，能否準(zhǔn)確識(shí)別和測(cè)量出晶圓的種種缺陷。這要求機(jī)械裝置的剛性高，精度好，能夠快速響應(yīng)使系統(tǒng)能夠快速穩(wěn)定下來(lái)，達(dá)到目標(biāo)掃描速度識(shí)別出晶圓的種種缺陷，滿足晶圓每小時(shí)生產(chǎn)效率的關(guān)鍵要求，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)成為理想的選擇。根據(jù)本行業(yè)應(yīng)用，北京瑞邦精控研發(fā)出QFHDS雙軸H形超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，同時(shí)滿足許多高精度應(yīng)用，如半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，精密掃描，以及平板顯示器制造中。該平臺(tái)均是直接驅(qū)動(dòng)、直接反饋型設(shè)備，經(jīng)過(guò)大量的測(cè)試，可確保達(dá)到高的精度和穩(wěn)定性性能。指標(biāo)規(guī)格運(yùn)動(dòng)軸X(掃描)Y

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