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氣浮導軌的優(yōu)勢2023/01/07

氣浮導軌基于氣體動靜壓效應，實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來獲得較高的導向精度。通常與直線電機，編碼器反饋，控制驅(qū)動器組成閉環(huán)系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應用。超精密運動平臺常用導軌有機械滾動導軌、靜壓導軌等，機械滾動導軌的應用己經(jīng)有好多年，機械滾動導軌的運動精度達到微米級，摩擦因數(shù)可以降低到0.002至0.003。機械滾動導軌的優(yōu)點是滾動摩擦阻力小，沒有滑動導軌的爬行、浮動現(xiàn)象，但

高精密氣浮平臺及其直線電機驅(qū)動特性2023/01/07

由于氣浮導軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優(yōu)點；同時，直線電機具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點，在運動系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運動，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動機構(gòu)，實現(xiàn)了直接驅(qū)動。因此，直線電機和氣浮導軌的結(jié)合，能夠充分發(fā)揮各自的特點，適合應用于精密運動平臺的設計之中。但由于直線電機驅(qū)動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續(xù)性以及缺少中間彈性阻尼環(huán)節(jié)，運動過程中精度較差，易產(chǎn)生超調(diào)和振蕩，限制了直線進給精度，難以滿足超精密加工的要求。因此，為解決直線電機及直線氣浮運動平臺系統(tǒng)存在的

氣浮運動平臺是什么2022/12/21

高精度和高分辨率的氣浮運動平臺系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位。它直接影響精密、超精密切削加工水平、精密測量水平及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。它的各項技術(shù)指標是各國高技術(shù)發(fā)展水平的重要標志。氣浮平臺系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力。同時工作臺的速度、加速度及啟停過程的穩(wěn)定時間則影響到設備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標。由于氣浮運動平臺的定位精度和分辨率多在亞微米級，工作環(huán)境的影響不容忽視。溫度的變化直接影響平臺的定位精度，外部振動會影響系統(tǒng)的穩(wěn)定性，環(huán)境溫

瑞邦精控氣浮轉(zhuǎn)臺的特點2022/12/20

氣浮轉(zhuǎn)臺是把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來進行非接觸式旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導入的空氣壓力來實現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，獲得了較高的軸向和徑向跳動誤差。應用于晶圓加工與檢測、生物檢測、高精度計量、光學檢測和制造以及MEMS/納米技術(shù)設備制造等行業(yè)。瑞邦精控氣浮轉(zhuǎn)臺的特點：1.閉式氣浮結(jié)構(gòu)；2.精準回零位置；3.軸向跳動高達10nm；4.手動和電動旋轉(zhuǎn)時軸向和徑向跳動誤差一致；5.高速穩(wěn)定性；6.解決氣浮轉(zhuǎn)臺抱死的問題；7.使用壽命10年以上；8.作為A軸可臥式使用。對氣浮轉(zhuǎn)臺進行了優(yōu)化設計，氣浮軸承表面和

精密運動臺在3D打印中應用2022/12/20

精密運動臺為3D打印應用提供精確定位。進入21世紀以來，3D打印技術(shù)有了全新的突破，正式進入3D打印的高速發(fā)展階段，并在大類技術(shù)的細分下逐步涌現(xiàn)出了各式各樣的革新式小類工藝，以滿足特定行業(yè)需求，與傳統(tǒng)制造業(yè)形成有效互補。瑞邦精控的精密運動臺到亞微米精度級別，助力于3D打印技術(shù)的發(fā)展。3D打印方法分類：1.材料擠出型，優(yōu)點：設備和耗材的價格低廉、材料范圍廣、打印產(chǎn)品強度高。缺點：打印精度較低、打印樣件表面粗糙度大。2.光聚合成型，優(yōu)點：加工精度高、打印成品表面光滑、整面曝光成型效率高。缺點：材料范

氣浮轉(zhuǎn)臺概述2022/11/11

氣浮轉(zhuǎn)臺是超精密機械中的一種新型結(jié)構(gòu)，從誕生之日起就一直受到世人的關(guān)注，它為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、納米表面形貌測量、高精密機床研發(fā)等領(lǐng)域提供一個能夠?qū)崿F(xiàn)超精密定位、檢測和運動的載物平臺，為開展超精密加工工藝技術(shù)研究拓展了領(lǐng)域，能解決高精度零件在加工、檢測等方面的難題。利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導入實現(xiàn)的，它使轉(zhuǎn)軸懸浮在空氣中并能平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮，通過軸承腔引入空氣壓力，使轉(zhuǎn)軸保持懸浮狀態(tài)，從而獲得較高的軸向跳動誤差。北京瑞邦精控科技有限公司擁有多年的精密機械加工及裝配經(jīng)驗，采用合

精密Z軸的介紹2022/11/05

北京瑞邦精控的精密Z軸分為側(cè)掛式和平升式。1．側(cè)掛式Z軸選用精密重或中預壓機械導軌（終依據(jù)用戶應用選擇），氣浮導軌做支撐和導向，結(jié)構(gòu)設計需進行力學分析和模態(tài)分析，以盡量減小變形量和提高一階固有頻率為目的，精密Z軸配置低摩擦氣缸做配重，使得系統(tǒng)有較好的平衡。因直驅(qū)電機無抱閘功能，配置低摩擦平衡氣缸，其優(yōu)勢：密封件具有低摩擦特性，通過氣體潤滑實現(xiàn)，可抵消直線電機向上的持續(xù)驅(qū)動力，運行平穩(wěn)，同時斷電時防止負載掉落，禁止出現(xiàn)損壞工件或人身傷害等，可安裝到龍門橋架上或XY軸上。2．平升Z軸1)重載大行程，

直線電機運動平臺的優(yōu)勢2022/11/04

直線電機運動平臺有哪些部分組成呢？首先是驅(qū)動部分：無鐵芯直線電機，有鐵芯直線電機，優(yōu)點是無齒槽效應、高動態(tài)性能、電流噪聲?。挥需F芯直線電機的優(yōu)點：推力大、中低端應用性價比高。其次是導軌部分：氣體靜壓導軌，油靜壓導軌，線性導軌。然后是光柵尺部分：雷尼紹、海德漢直線光柵尺或圓光柵。還有基座部分：大理石基座，鋁合金基座，鑄鐵基座/鋼板。結(jié)構(gòu)件部分：6061/7075鋁合金。由以上主要零部件組成的。直線電機運動平臺相對其他廠家的伺服電機加絲桿的運動臺有哪些優(yōu)勢：1.伺服電機搭配絲桿結(jié)構(gòu)，絲杠副、聯(lián)軸節(jié)等

氣浮旋轉(zhuǎn)臺你了解嗎2022/10/27

氣浮旋轉(zhuǎn)臺你了解嗎？接下來小編為大家介紹一下，希望對大家能有所幫助。氣浮旋轉(zhuǎn)臺逐漸的出現(xiàn)制造加工中，給我們帶來了不一樣的體驗。氣浮旋轉(zhuǎn)臺的空氣軸承是通過向軸承腔中注入壓力空氣。泄壓間隙很小，軸承腔與主軸間形成氣膜，保證主軸懸浮于空氣中，旋轉(zhuǎn)精度穩(wěn)定。它具有高速、高精度、無噪音、無摩擦、無磨損、無潤滑油、速度控制性能、抗碰撞安全保護等特點。氣浮旋轉(zhuǎn)臺具有如此多的優(yōu)點，在高精度應用領(lǐng)域中，用氣浮軸承來替代普通的機械軸承已越來越多。特點：1.結(jié)構(gòu)簡單。2.轉(zhuǎn)動輕巧。3.運行平穩(wěn)。4.高精度。5.摩擦損

超精密氣浮臺知識點介紹2022/10/27

超精密氣浮臺是基于靜態(tài)氣動軸承，其安裝在滾珠面板基底：頂部與面板連接，由承轉(zhuǎn)子組成。在球和板之間有氣隙。定子與臺座外殼對應的負形連接。定子采用內(nèi)節(jié)流原理安裝，氣動分布通道系統(tǒng)與噴嘴組合。轉(zhuǎn)子定子與轉(zhuǎn)子在定壓和負載下沒有接觸。可用于圓度測量系統(tǒng)、中心偏差測量系統(tǒng)和粗糙度測量系統(tǒng)。超精密氣浮臺基本特性超精密氣浮臺載重能力強，重復精度高；無限的使用壽命；無塵室應用環(huán)境；不滑行動作；不磨損，不調(diào)整。技術(shù)指標：轉(zhuǎn)動精確度(徑向和軸向跳動)。玻璃纖維編碼器：相對定位精度。有兩個版本的空氣軸承轉(zhuǎn)盤：轉(zhuǎn)盤，有角

氣浮運動臺你知道多少2022/10/27

氣浮運動臺你知道多少？你知道定制需要注意什么嗎？接下來小編為大家介紹一下，希望對大家能有所幫助。下面是氣浮運動臺應該注意的重要指標如下：直線運動平臺：定位精度，單向重復定位精度，雙向重復定位精度，直線度，平面度（垂直直線度），俯角，偏擺，速度，加速度，微動步距，整定時間，用戶負載及多軸正交性等。轉(zhuǎn)臺：定位精度，單向重復定位精度，雙向重復定位精度，軸向跳動，徑向跳動，偏置角度，端面跳動，用戶負載，轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)動面直徑等。控制系統(tǒng)硬件接口：控制軸數(shù)量；模擬信號輸入輸出；數(shù)字信號的輸入輸出；編碼器反饋信道

多軸氣浮運動臺的主要優(yōu)點是什么2022/10/26

多軸氣浮運動臺成為應用趨勢，伴隨著半導體行業(yè)的快速發(fā)展，相應的加工檢測設備也會逐漸地提高性能，因此很多公司都使用氣浮臺，這是一種用于半導體加工、檢測、微納加工、測試測量等高精度設備，但到底有哪些主要優(yōu)勢。1.直線性和平面性高。2.高定位精度和重復定位。3.速度穩(wěn)定。4.偏擺、縱搖、滾動精度高。多軸氣浮運動臺的高直度和平面度取決于氣浮導軌，材料分為鋁合金、大理石、碳化硅陶瓷等，研究其壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等參數(shù)，找出了氣膜剛度的參數(shù)區(qū)間，具有出色的性能精度，實現(xiàn)了高壓氣膜剛度的參數(shù)

精密氣浮轉(zhuǎn)臺介紹2022/10/24

通常在科學研究、制造業(yè)中的精密測量等應用場景中，常使用一些精密氣浮轉(zhuǎn)臺，通過360°旋轉(zhuǎn)被測物體，與相應的檢測設備配合，實現(xiàn)被測物品的檢測和質(zhì)量控制。這類需要使用的精密氣浮轉(zhuǎn)臺，一般要求具有直驅(qū)無刷電機、增量式以及相應的驅(qū)動控制器和控制軟件。常見的有機械軸承轉(zhuǎn)盤和氣浮軸承轉(zhuǎn)盤兩種。測量精密氣浮轉(zhuǎn)臺的精度主要取決于以下幾個參數(shù)。角精度可以通過配置更高標準的光柵尺反饋，這取決于光柵的直徑大小，角度精度通常是±0.5-±2arcsec的范圍。若某些特定的應用方案需要較高的角度精度，則可采用補償?shù)姆椒ā?

氣浮直線臺知識點科普2022/09/17

氣浮直線臺你了解嗎？接下來小編為大家介紹一下，希望對您有所幫助。氣浮直線臺的結(jié)構(gòu)形式：1）XY軸十字疊層結(jié)構(gòu)；2）XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu)；3）XZ軸疊層結(jié)構(gòu)；4）XZ軸T形分布（常用單點車床）優(yōu)點如下：1.位置精度高。在空載或下料作業(yè)中，由于各運動部分作直線運動和其它相互位置的移動，使得兩軸氣浮直線臺對導軌的導向精度要求非常嚴格。決定導向精度的主要因素是加工精度、結(jié)構(gòu)形式、導軌剛度、熱變形等。2.耐磨性能好。在使用過程中能保持一定的導向精度，這是其耐磨性的體現(xiàn)，導軌工作的進行必然會有磨損，因此兩軸

在使用氣浮運動臺時應注意什么2022/09/17

氣浮運動臺是一種非常精密的機械設備，如果使用不當，會降低移臺的使用壽命?，F(xiàn)在，小編想講一下氣浮運動臺的注意事項。如下：1.根據(jù)現(xiàn)場和機器安裝空間設施的需要，使用底部的四個固定螺孔或安裝底座，直接安裝或加大理石基座安裝。2.安裝時，安裝基面平面度要小于5μm，如果安裝基面不平整，建議加大理石底座安裝。3.螺絲固定時要均勻受力，不可用力過大或力度不足，請參考《螺釘緊固扭矩規(guī)范》，同時電機是帶磁性的，防止螺釘吸入直線電機內(nèi)部。4.安裝在固定基座或工作臺前，禁止在安裝基面上摩擦，容易損壞氣浮位移臺的安裝

氣浮轉(zhuǎn)臺知識點科普2022/09/17

實際上，在科學研究和精密制造工業(yè)中都可以看到一些氣浮轉(zhuǎn)臺的專業(yè)設備，這些專業(yè)設備在使用過程中能有效地保證其精度性能，相對于機械式轉(zhuǎn)臺，氣浮轉(zhuǎn)臺的作用更大，能更好的保證精度，但看到許多設備時，多數(shù)人可能不知道這到底有什么好處，我們來看看氣浮轉(zhuǎn)臺是什么？氣浮轉(zhuǎn)臺是利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導入實現(xiàn)的，它使轉(zhuǎn)軸懸浮在空氣中并能平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮，通過軸承腔引入空氣壓力，使轉(zhuǎn)軸保持懸浮狀態(tài)，從而獲得較高的軸向跳動誤差。具有高速度、高精度、無摩擦、無磨損、無需潤滑、速度穩(wěn)定、無噪音等特點。氣浮轉(zhuǎn)臺具有

帶你了解一下精密氣浮轉(zhuǎn)臺2022/07/30

帶你了解一下精密氣浮轉(zhuǎn)臺氣浮轉(zhuǎn)臺是精密氣浮旋轉(zhuǎn)臺的簡稱，也可以作為一個專有名詞使用，是設法把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來，并可以穩(wěn)定的高精度的旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導入的空氣壓力來實現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，保證了轉(zhuǎn)動軸的懸浮，獲得了較高的軸向和徑向跳動誤差。高速度，高精度，無摩擦力，無磨損，不需要潤滑油，有較好的速度穩(wěn)定性能，無噪音等特點。氣浮轉(zhuǎn)臺是超精密機械中的一種典型結(jié)構(gòu)，從誕生之日起就一直受到世人的關(guān)注，它為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、納米表面形貌測量、高精密機床研發(fā)等領(lǐng)域提供一個能夠?qū)崿F(xiàn)超

氣浮轉(zhuǎn)臺的介紹2022/07/30

氣浮轉(zhuǎn)臺是利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導入實現(xiàn)的，它使轉(zhuǎn)軸懸浮在空氣中并能平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮，通過軸承腔引入空氣壓力，使轉(zhuǎn)軸保持懸浮狀態(tài)，從而獲得較高的軸向跳動誤差。具有高速度、高精度、無摩擦、無磨損、無需潤滑、速度穩(wěn)定、無噪音等特點。氣浮轉(zhuǎn)臺具有諸多優(yōu)點，因此用氣浮軸承替代普通機械軸承已得到越來越高的應用精度氣浮轉(zhuǎn)臺的功能及應用范圍氣浮轉(zhuǎn)臺以穩(wěn)定高精度的旋轉(zhuǎn)。這個力是通過引入空氣來實現(xiàn)的，該間隙很小，從而保證了轉(zhuǎn)軸的懸浮。高速、高精度、無摩擦、無磨損、無潤滑油、有速度控制性能、無噪音。氣浮工

氣浮平臺的構(gòu)成2022/07/30

氣浮平臺的精度是精密機械的核心。我公司為微光微刻技術(shù)、CNC加工、生物技術(shù)、IC封裝設備、納米表面形貌測量等領(lǐng)域提供了一種能實現(xiàn)精確定位和精確移動的運動平臺。氣浮平臺是光刻機貼片機等電子制造設備的主要工作機構(gòu)。伴隨著電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，產(chǎn)品的體積越來越小，對精度的要求越來越高。所以，高精度、高穩(wěn)定性的移動平臺對于電子設備的發(fā)展有著舉足輕重的作用。另外，微電子系統(tǒng)制造和測試、光學測量加工、超精密加工、航空發(fā)動機測量制造等領(lǐng)域都離不開精密定位技術(shù)。因為空氣軸承精度比滾動軸承高兩個數(shù)量級，且精度高，摩擦系

氣浮平臺的工作原理2022/07/30

氣浮平臺有氣浮直線平臺與氣?。ㄐD(zhuǎn)）轉(zhuǎn)臺兩類。氣浮平臺的核心原理是由空氣軸承結(jié)合電控元件構(gòu)成的精密位移平臺，基于空氣軸承的原理，讓負載板浮在氣浮導軌或氣浮軸承上，實現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運動。氣浮平臺的氣浮直線導軌常見的形式有：1.重力平衡式氣浮導軌；2.閉式氣浮導軌；3.永磁預載式氣浮導軌；4.真空吸附式氣浮導軌。常見的氣浮孔結(jié)構(gòu)為：1.小孔節(jié)流結(jié)構(gòu)；2.多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)。氣浮平臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓