產(chǎn)品介紹：

KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

KJ-T1200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

應(yīng)用范圍：

KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。

規(guī)格參數(shù)：

可選配件：

質(zhì)量混氣系統(tǒng)1臺(tái)、雙旋機(jī)械泵1臺(tái)、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、爐塞1對(duì)、高溫手套1副、說(shuō)明書(shū)1份