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深圳市中圖儀器股份有限公司

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微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀

參   考   價(jià): 950000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)NS200

品       牌中圖儀器CHOTEST

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式:深圳市中圖查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-08-20 17:35:30瀏覽次數(shù):248次

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NS系列微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。

臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器,可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。NS系列微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀是利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來(lái)計(jì)算出膜層的厚度,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀


針對(duì)測(cè)量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場(chǎng)景,NS系列微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀提供如下便捷功能:

1)結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)的全電動(dòng)載物臺(tái),能夠快速定位到測(cè)量標(biāo)志位;

2)對(duì)于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測(cè)量功能,實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測(cè)量;

3)提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能,直觀分析測(cè)量數(shù)值變化趨勢(shì);




結(jié)構(gòu)(主要組成部分)

1、測(cè)量系統(tǒng)

(1)單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響,提高了測(cè)量精度。

(2)線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。

(3)傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測(cè)量。測(cè)力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測(cè)量。

2、工件臺(tái)

(1)精密的XY平臺(tái)結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái),可以對(duì)樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。

(2)超高直線度導(dǎo)軌,有效避免運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),提高掃描精度,真是反映工件微小形貌。

3、成像系統(tǒng)

500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī),即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測(cè)量更加直觀。

4、軟件系統(tǒng)

測(cè)量軟件包含多個(gè)模塊。

5、減震系統(tǒng)

防止微小震動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。

微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀

性能特點(diǎn)

1.亞埃級(jí)位移傳感器

具有亞埃級(jí)分辨率,結(jié)合單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測(cè)量精度及重復(fù)性;

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸損傷的接觸式測(cè)量;

3.超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。


典型應(yīng)用

微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀

部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)NS200
測(cè)量技術(shù)探針式表面輪廓測(cè)量技術(shù)
樣品觀察光學(xué)導(dǎo)航攝像頭:500萬(wàn)像素高分辨率 彩色攝像機(jī),FoV,2200*1700μm
探針傳感器
超低慣量,LVDC傳感器
平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y電動(dòng)X/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平)
單次掃描長(zhǎng)度55mm
樣品厚度50mm
載物臺(tái)晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
臺(tái)階高度重復(fù)性5 ?, 量程為330μm時(shí)/ 10 ?, 量程為1mm時(shí)(測(cè)量1μm臺(tái)階高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對(duì)濕度:濕度 (無(wú)凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng):6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動(dòng))

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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