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雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) 詳細(xì)摘要: 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避...
產(chǎn)品型號(hào): 所在地:合肥市 更新時(shí)間:2019-07-07 參考價(jià): 面議 在線留言
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詳細(xì)摘要: 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避...
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