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詳細(xì)摘要： CSE系列團(tuán)簇中心轉(zhuǎn)運(yùn)平臺(tái)1、產(chǎn)品用途提供定制化的Cluster團(tuán)簇中心轉(zhuǎn)運(yùn)平臺(tái)，用于將產(chǎn)品或襯底在各工藝腔室之間進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)，以便客戶進(jìn)行二次開發(fā)。