低溫等離子廢氣處理設(shè)備是一種新型 的干法處理廢氣的處理設(shè)備，它改變了使用活性炭材料的工藝技術(shù)，無需 處理原料，無需專人負責，無產(chǎn)生二次污染，換及維護保養(yǎng)方便，運行成本低廉，是廢氣治理的一項技術(shù)。適用于惡臭廢氣、苯、甲苯、二甲苯、苯等難難溶性物廢氣治理。

等離子處理設(shè)備又稱低溫等離子廢氣凈化器。

本工藝在電催化總的設(shè)計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。

低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應(yīng)，使復雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿? 物質(zhì)，或使物質(zhì)轉(zhuǎn)變成 或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應(yīng)條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應(yīng)變得。

等離子體化學反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場+電子→ 電子

(2) 電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子 先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外， 電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應(yīng)中起著重要的作用。

低溫等離子廢氣處理設(shè)備的特點：

1、操作方便：低溫等離子體設(shè)備，操作簡單，方便，無需專人看管，如遇故障自動停機報警。

2、能耗低：低溫等離子體處理煙氣，運行費用低廉，約2～5瓦時/米3。

3、運行環(huán)境要求低：在-60℃~+300℃的環(huán)境內(nèi)均可正常運轉(zhuǎn)，特別是在潮濕，甚至空氣濕度飽和的環(huán)境下仍可正常運行。

4、設(shè)備使用壽命長：本設(shè)備 性強，在酸性氣體中蝕。