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樣品序號 | 流量ug/min (閾值:5.4ug/min) | 結果 | 備注 | ||
陰性樣品1 | 3.139 | 2.976 | 2.527 | PASS合格 | |
2.16um | 大漏 | 大漏 | 55.87 | Fail不合格 | |
2.29um | 大漏 | 大漏 | 大漏 | Fail不合格 | |
2.35um | 55.81 | 46.98 | 49.34 | Fail不合格 | |
結論 | 分別測試3次;所有陰性及陽性樣品99%準確檢出,液漏流量明顯 |
樣品序號 | 差壓 pa (閾值:45pa) | 結果 | 備注 | ||
陰性樣品1 | 23 | 24 | 23 | PASS合格 | |
2.16um | 65 | 63 | 67 | Fail不合格 | |
2.29um | 75 | 78 | 70 | Fail不合格 | |
2.35um | 70 | 88 | 75 | Fail不合格 | |
結論 | 分別測試3次;所有陰性及陽性樣品99%準確檢出,液漏流量明顯 |
樣品序號 | 流量ug/min | 結果 | 備注 | ||
陰性樣品1 | 2.132 | 2.319 | 2.490 | PASS合格 | |
1.75um | 2.392 | 2.827 | 2.689 | PASS合格 | 假陽性 |
2.10um | 2.760 | 2.418 | 2.498 | PASS合格 | 假陽性 |
2.23um | 3.018 | 2.386 | 2.351 | PASS合格 | 假陽性 |
結論 | 陽性樣品在留樣24小時后存在明顯堵塞,真空質(zhì)量提取法無法準確檢出 |
樣品序號 | 差壓 pa | 結果 | 備注 | ||
陰性樣品1 | 25 | 27 | 27 | PASS合格 | |
1.75um | 26 | 28 | 25 | PASS合格 | 假陽性 |
2.10um | 29 | 30 | 32 | PASS合格 | 假陽性 |
2.23um | 28 | 28 | 27 | PASS合格 | 假陽性 |
結論 | 陽性樣品在留樣24小時后存在明顯堵塞,真空衰減法無法準確檢出 |
MAX CW閾值:11.00 | ||||
樣品序號 | MAX CW | 結果 | 備注 | |
陰性樣品1 | 8.3 | Ok合格 | ||
2.16um | 30.7 | NG不合格 | ||
2.29um | 313.6 | NG不合格 | ||
1.75um | 500.4 | NG不合格 | ||
2.10um | 56.3 | NG不合格 | ||
2.23um | 370.8 | NG不合格 | ||
1.97um | 24.2 | NG不合格 | ||
1.70 | 19.1 | NG不合格 | ||
結論 | 高壓放電法可以在漏孔堵塞的條件下 99%準確檢出。 |
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