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真空區(qū)域劃分

來源:佛山市東山真空設備有限公司   2024年04月12日 07:19   326

真空區(qū)域劃分:

真空區(qū)域
壓強范圍
托(Torr
帕(Pa
低真空
760-10
101325-1333
中真空
10-10-3
1333-1.33×10-1
高真空
10-3 -10-8
1.33×10-1-10-6
超高真空
10-8-10-12
10-6-10-10
*真空
10-12
10-10
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