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氣浮平臺(tái)有氣浮直線平臺(tái)與氣?。ㄐD(zhuǎn)）轉(zhuǎn)臺(tái)兩類。氣浮平臺(tái)的核心原理是由空氣軸承結(jié)合電控元件構(gòu)成的精密位移平臺(tái)，基于空氣軸承的原理，讓負(fù)載板浮在氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承上，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)。

氣浮平臺(tái)的氣浮直線導(dǎo)軌常見的形式有：

1.     重力平衡式氣浮導(dǎo)軌；

2.     閉式氣浮導(dǎo)軌；

3.     永磁預(yù)載式氣浮導(dǎo)軌；

4.     真空吸附式氣浮導(dǎo)軌。

常見的氣浮孔結(jié)構(gòu)為：

1.     小孔節(jié)流結(jié)構(gòu)；

2.     多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)。

氣浮平臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了合理氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著出色的性能精度，行程300mm直線度和平面度的誤差在1μm以內(nèi)，氣浮平臺(tái)的承載能力也非常的出色，在市場(chǎng)上已經(jīng)逐漸得到大家的認(rèn)可。