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精密運動臺以下技術(shù)指標參數(shù)：

1. 定位精度：

指令位置與測量設(shè)備（Renishaw XL80激光干涉儀）檢測的位置之間的誤差，比如要求一個軸走100mm,結(jié)果實際上它走了100.01，那定位精度是0.01mm。

2. 重復定位精度：

   在相同條件下，系統(tǒng)被重復地命令到一個位置時所達到的位置范圍。單向重復性是通過從一個方向接近一個點來測量，雙向重復性度量從兩個方向返回到點的能力。比如要求一個軸走10mm,結(jié)果實際上走了10.01、10.015、10.013，重復定位精度是0.005mm。定位精度是可以通過補償來實現(xiàn)，把光柵尺的誤差，結(jié)構(gòu)誤差、控制算法誤差，綜合起來補償。

3. 直線度：

直線度是位移臺在水平方向移動時于垂直水平軸線的左右方向的偏差。對于上圖，X軸平臺的行程的直線度誤差將導致Y方向上的定位誤差，Y軸的直線度偏差將導致X方向上的定位誤差。

4. 平面度：

平面度（垂直于直線度）是位移臺在水平方向移動時于垂直于水平軸線上下方向的偏差。 對于上圖所示，行程中的平面度偏差將導致Z方向上的定位誤差。

5. Pitch(俯仰角)誤差：

俯仰是圍繞水平軸的旋轉(zhuǎn)平面垂直于移動方向，如果被測位置點不在旋轉(zhuǎn)中心，那么俯仰旋轉(zhuǎn)將導致二維的阿貝誤差。對于X軸，俯仰旋轉(zhuǎn)將導致X和Z方向上的阿貝誤差，對于Y軸，俯仰旋轉(zhuǎn)將導致Y和Z方向上的阿貝誤差，這些誤差的大小可以是通過偏移距離的長度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦或余弦來確定。

6. Yaw(偏擺角)誤差：

偏擺是圍繞垂直于移動方向的垂直平面中的軸的旋轉(zhuǎn)，如果被測量的位置點不在旋轉(zhuǎn)中心，那么偏擺將導致二維的阿貝誤差。對于X軸或Y軸平臺，偏擺將在X和Y方向上引起阿貝誤差，這些定位誤差的大小可以通過偏移距離的長度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦和余弦來計算。

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