隨著半導體進入到快速發(fā)展的階段,相應的加工檢測設備也會逐漸的提高性能,所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺,這是一款高精度的設備,主要作用于半導體加工、檢測,微納加工,測試測量等,但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢。
1. 直線度和平面度高
2. 定位精度和重復定位高
3. 速度穩(wěn)定性高
4. 偏擺、俯仰、滾動精度高
氣浮運動臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導軌,材質分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等,研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等,找到了氣膜剛度的參數區(qū)間有著出色的性能精度,實現速度2米/秒,能夠擁有4G的加速度,而且承載的能力也非常的出色,所以在目前的市場上已經逐漸得到大家的認可,只是當我們在選擇設備時,或許也會存在很多的疑惑,比如說要選擇哪種材質的氣浮導軌。
其實材質的選擇是跟用戶的應用有著緊密的聯系,單從性價比角度了解,碳化硅陶瓷材質的氣浮運動臺精度高,當然成本也昂貴,鋁合金與大理石材質的同樣性能比較,鋁合金的加工難度大些,成本較高,大理石的成本較便宜些。
利用*的直線電機驅動,選擇無鐵芯設計,特點是無齒槽效應,高動態(tài)性能及電流噪音小等,所以在運動的過程中能夠實現超平穩(wěn)的效果,另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及*性的控制系統(tǒng),獲得高定位精度和重復定位精度,控制器對光柵尺65536倍細分,獲得納米級微動步距。
所以從各個方向的優(yōu)勢來看,氣浮運動臺已經成為當前從事高精密應用行業(yè)的選擇,能夠提高整個系統(tǒng)的精度性能。
在國家大力發(fā)展精密制造,鼓勵發(fā)展自主品牌的大背景下,由多年從事精密運動平臺研發(fā)和生產的技術人員共同組建成立,團隊具有多年核心部件研發(fā)經驗,擁有多種應用領域經驗,成熟的產品應用案例。
產品擁有:精密氣浮直線臺、精密氣浮轉臺、多軸精密氣浮臺、精密直驅直線臺、多軸精密直驅直線臺、精密垂直升降臺、笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產品。