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用于CMP應(yīng)用中的漿料輸送和分配的其他技術(shù)，例如流動回路控制器，通常需要內(nèi)部空氣，這通常會在處理工具中呈現(xiàn)清潔問題。但是使用精密蠕動泵，漿料始終不會在管道內(nèi)受到污染。而且，使用硅膠管，即使在連續(xù)運行3-6個月后，與舊的蠕動管配方相關(guān)的散裂問題也不會成為問題，并且壓力和流量一致性沒有損失。
精密蠕動泵適用于各種管尺寸，高科技管材和新型*泵頭設(shè)計可長時間長時間提供準(zhǔn)確，可靠和可重復(fù)的連續(xù)流體傳輸。準(zhǔn)確擠出，流量，可提高管道壽命，精度和壓力性能。
多種管道選項和各種高性能泵頭可滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的挑戰(zhàn)性要求，包括輸送鎢和氧化物漿液，去離子水和氫氧化銨。對于這些關(guān)鍵應(yīng)用，是“當(dāng)性能重要時”的理想選擇。
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