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2X旋片式真空泵原理圖

圖（1）是2X型旋片式真空泵的工作原理圖，轉(zhuǎn)子3及7與高真空室外1及低真空室6相切，轉(zhuǎn)子3及7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn)，帶動轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的轉(zhuǎn)片旋轉(zhuǎn),由于彈簧9及離心力的作用, 轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動,把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的月洼形空間從進氣嘴2到排氣閥門5和從過氣管4到排氣閥門10之間分隔開來,形成二或三個容積,并且周期性的大小變化,當在圖示旋片式真空泵位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沒進氣嘴進入泵內(nèi),同時B及D容積逐漸減少,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經(jīng)過油面而排于大氣之中,因為油是淹住排氣門的,故能防止氣體返回真空室。當抽氣壓強較高時,高低真空室的閥門都排氣,相當于單級泵,當真空度較高時,全部氣體進入真空室,再由排氣閥門10排出,此時二級串聯(lián)即進入雙級泵工作。

　　 如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時，在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強超過此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓強時，此時蒸氣被壓縮成為液體，旋片式真空泵無法排出，而混在真空泵油內(nèi)，使泵的性能大大降低，水蒸汽對真空泵的影響是非常大的。如果摻入適量的空氣，使蒸汽在受到壓縮時，其分壓強也低于泵溫的飽和壓強，則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去，故本系列2X-4以上的旋片式真空泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見下圖（1）。