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上海升利測(cè)試儀器有限公司
閱讀:392發(fā)布時(shí)間:2010-11-22
(技術(shù)中心-管式氣氛爐)
利用管式氣氛爐快速升溫制備硒化鋅納米晶薄膜的方法,取單質(zhì)硒粉和單質(zhì)鋅粉按1∶1的摩爾比混合并轉(zhuǎn)入高能球磨罐中,在氮?dú)饣驓鍤獗Wo(hù)下球磨,使ZnSe粉末的尺度為5~20納米;將ZnSe納米粉放入石英舟一端的凹槽中,硅片或石英基片放在石英舟的另一側(cè);再將石英舟置于長(zhǎng)度大于管式爐爐體長(zhǎng)度1.5倍以上的石英管中,開啟抽氣機(jī)排氧并充入氬氣,重復(fù)三次;將石英管冷端推入管式氣氛爐中,要求5分鐘內(nèi)將石英管內(nèi)放置的ZnSe納米粉末原料升溫到800℃~1000℃,使硅片或石英基片的溫度為160℃-240℃即可在硅片或石英片上得到硒化鋅納米晶薄膜。本發(fā)明真空度要求低,薄膜厚度和薄膜納米晶尺度均可通過工藝條件控制。
(技術(shù)中心-氣氛爐)
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