產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

1600度小型立式高溫管式爐是科佳電爐專為針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)開(kāi)發(fā)而成的，采用高純氧化鋁纖維精制爐膛，該立式管式爐爐操作簡(jiǎn)單、控溫精度高、保溫效果好、爐膛溫度均勻性高、可通氣氛抽真空等特點(diǎn)。

適用范圍：

 立式高溫管式爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

技術(shù)參數(shù)：

可選配件：

石英爐管×1	真空法蘭×1	o型膠圈×2
高溫手套×1	坩堝鉤×1	熱電偶×1
內(nèi)六角扳手x1	爐塞×2	中文說(shuō)明書×1

 1．實(shí)現(xiàn)電爐的升溫、保溫、降溫工藝過(guò)程全自動(dòng)。
 2．工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線，保存于觸摸屏內(nèi)，帶密碼保護(hù)功能，可一次性編制多條曲線。
 3．具備斷電記憶功能，查詢已完成的工藝階段。
 4．現(xiàn)場(chǎng)操作人員需要調(diào)用某條溫控曲線時(shí)，直接輸入曲線序列號(hào)即可調(diào)用該條曲線，簡(jiǎn)單方便，杜絕錯(cuò)誤發(fā)生。
 5．具備多組歷史數(shù)據(jù)記錄功能。
 6．具備同時(shí)顯示多段溫度及時(shí)間功能。

 1．氣體從鋼瓶出來(lái)，經(jīng)過(guò)減壓閥減壓，通過(guò)四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過(guò)質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量，然后經(jīng)過(guò)混氣罐，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來(lái)，經(jīng)過(guò)三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
 2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。
 3．每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全有保證。
 4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì)，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
 5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。 。

 該耐高溫真空泵采用內(nèi)置風(fēng)扇和大面積散熱的風(fēng)冷設(shè)計(jì)，大幅度降低泵的表面溫升；采用耐高溫密封圈和進(jìn)口耐高溫泵油，更加適合真空管式爐的高溫使用環(huán)境。采用進(jìn)口原裝油封，確保整機(jī)長(zhǎng)期運(yùn)行時(shí)的可靠密封。泵體采用一體化設(shè)計(jì)，零部件少，重復(fù)性好，外形緊湊，便于保養(yǎng)和維修。此外還內(nèi)置有齒輪泵和恒壓供油機(jī)構(gòu)強(qiáng)制供油，即便在高吸氣壓強(qiáng)下也能穩(wěn)定可靠地運(yùn)行。自動(dòng)防返油閥設(shè)計(jì)，有效的保護(hù)了你的真空系統(tǒng)在停機(jī)后免受泵油的污染；該產(chǎn)品還設(shè)計(jì)有兩檔氣鎮(zhèn)，可滿足不同工藝對(duì)蒸汽排出量的需求。