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電子行業(yè)超純水設(shè)備

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電子行業(yè)超純水設(shè)備

詳細(xì)介紹

  電子行業(yè)超純水設(shè)備簡(jiǎn)介

  超純水(電子行業(yè)超純水設(shè)備)是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水,如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。目前,電子行業(yè)超純水設(shè)備制備超純水的方法通常采用反滲透,去離子或電去離子(EDI)等工藝。


  電子行業(yè)超純水設(shè)備常規(guī)工藝

  1、采用離子交換方式,其流程如下:

  原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹(shù)脂過(guò)濾床→陰樹(shù)脂過(guò)濾床→陰陽(yáng)樹(shù)脂混床→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

  2、采用反滲透加離子交換方式,其流程如下:

  原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過(guò)濾器→反滲透機(jī)→陰陽(yáng)樹(shù)脂混床→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

  3、采用反滲透加EDI方式,其流程如下:

  原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過(guò)濾器→反滲透機(jī)→EDI系統(tǒng)→拋光混床→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

  電子行業(yè)超純水設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

  中國(guó)國(guó)家電子行業(yè)超純水設(shè)備規(guī)格GB/T1146.1-1997

級(jí)別 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
電阻率
MΩ·cm(25℃)
18
(95%時(shí)間)
不低于17
15
(95%時(shí)間)
不低于13
12.0 0.5
2 10 50 1000
>1um微粒數(shù),值 個(gè)/ml 0.1 5 10
細(xì)菌數(shù),值,個(gè)/mL 0.01 0.1 10 100
銅,值 ug/L 0.2 1 2 500
鋅,值 ug/L 0.2 1 2 500
鎳,值 ug/L 0.1 1 2 500
鈉,值 ug/L 0.5 2 5 1000
鉀,值 ug/L 0.5 2 5 500
氯,值 ug/L 1 1 10 1000
硝酸根,值 ug/L 1 1 10 500
磷酸根,值 ug/L 1 1 10 500
硫酸根,值 ug/L 1 1 10 500
總有機(jī)碳,值 ug/L 20 100 200 1000

  電子行業(yè)超純水設(shè)備應(yīng)用場(chǎng)合

  電子行業(yè)超純水設(shè)備、電子工業(yè)超純水設(shè)備適用在半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路,光學(xué)玻璃鍍膜、光電子及光纖,超純材料和超純化學(xué)試劑,汽車、家電表面拋光處理,五金行業(yè)清洗用水,實(shí)驗(yàn)室和中試車間,其他高科技精微產(chǎn)品。

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