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GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

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更新時間：2023-01-12 09:53:30瀏覽次數(shù)：288次

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設定程序對樣品表面進行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學元件和塑料等，也可在常壓下進行等離子增強

詳細介紹

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設定程序對樣品表面進行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學元件和塑料等，也可在常壓下進行等離子增強氣相沉積。

技術參數(shù)
主要參數(shù)	● 工作環(huán)境：溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH ● 輸入電源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W ● 等離子體工作壓力
RF發(fā)生器	● 輸出頻率：20-23kHz , 25KV ● 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm ●
輸入氣體氣壓，工作氣體	● 40 PSI min.(0.055 Mpa) ● Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )
樣品臺和控制柜	● 配有可在X-Y軸移動的樣品臺，通過步進電機驅動，采用SBC控制盒控制 ● 可手動調節(jié)樣品臺在Z軸方向上的移動距離 ● 控制盒采用LCD顯示，可設置其等離子槍頭的掃描程序 ● 大掃描范圍：8" x 9" ● 一個直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺上，可吸住直徑為6"的樣品 ● 配有一真空泵，可與真空吸盤相連接 ● 整個系統(tǒng)安裝在一移動架上（600x600x 800Lmm） ● 可選：可選加熱樣品臺（MAX溫度可加熱到500℃),也可將設備放置在手套箱中操作 ●
外形尺寸	● 處理樣品臺尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H ● 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H ● 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H
凈重	55kg
認證	CE認證
質保期	● 一年保修，終身技術支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 ● 點擊查看售后服務承諾書。
文獻	● 請點擊鏈接以了解更多關于AP-PECVD應用的信息：常壓等離子體增強化學氣相沉積（AP-PE-CVD）用于在低溫下生長薄膜。