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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司


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GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間：2023-01-12 09:53:30瀏覽次數(shù)：277次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：405條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：廖勝眉

產(chǎn)品簡介

簡要描述：GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)

詳細(xì)介紹

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 工作環(huán)境：溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH

● 輸入電源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W

● 等離子體工作壓力

RF發(fā)生器

● 輸出頻率：20-23kHz , 25KV

● 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm

●

輸入氣體氣壓，工作氣體

● 40 PSI min.(0.055 Mpa)

● Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

樣品臺和控制柜

● 配有可在X-Y軸移動的樣品臺，通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，采用SBC控制盒控制

● 可手動調(diào)節(jié)樣品臺在Z軸方向上的移動距離

● 控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序

● 大掃描范圍：8" x 9"

● 一個直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺上，可吸住直徑為6"的樣品

● 配有一真空泵，可與真空吸盤相連接

● 整個系統(tǒng)安裝在一移動架上（600x600x 800Lmm）

● 可選：可選加熱樣品臺（MAX溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作

●

外形尺寸

● 處理樣品臺尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H

● 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H

● 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H

凈重

55kg

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

● 一年保修，終身技術(shù)支持。

● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

文獻(xiàn)

● 請點(diǎn)擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息：常壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（AP-PE-CVD）用于在低溫下生長薄膜。



關(guān)鍵詞：工作臺 真空泵

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