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深圳市科晶智達科技有限公司


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PCE-22 紫外臭氧清洗機

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2023-01-12 09:40:01瀏覽次數(shù):315次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:405條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:廖勝眉

產(chǎn)品簡介

簡要描述:PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM TEM,紫外對聚合物改性等。

詳細介紹

紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 功率:大350W

● AC 208~240V,單相 50/60Hz

應(yīng)用

● 去除分子級別的污染物

● 紫外光固化粘合劑

● 紫外光催化

● 氧化PDMS

● 表面消毒

● 刻蝕

● 清洗MEMS 器件

● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

紫外燈

● 可發(fā)出雙波長的水銀燈

● 功率:55W

● 發(fā)出光的波長:254 nm 和 185 nm

● 使用壽命:2500 小時(可更換)

● 照射區(qū)域:200 x 200 mm

腔體&樣品臺

● 不銹鋼殼體

● 抽屜式樣品臺,以便放樣取樣

● 樣品臺面積310 mm x 320 mm

● 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

● 樣品臺與紫外燈的距離:20mm-40mm(可調(diào))

● 樣品臺可以加熱,MAX溫度可達150℃

● 可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃

● 設(shè)備運行時間:0.01 秒- 99.9小時

排氣口

● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

● 請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實驗室外

● 儀器中不包含橡膠管

環(huán)境要求

● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi)

● 溫度范圍:41-104華氏度

● 大相對濕度80%,大87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度

● 主電源波動不超過額定電壓的10%

● 污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb

外形尺寸

● 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

凈重

28kg

認證

CE認證

質(zhì)保期

● 一年保修,終身技術(shù)支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點擊查看售后服務(wù)承諾書。




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