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GSL-1700X-SPC-2 小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺(tái)式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀，可以設(shè)定程序，精確控制溫度200#186;C~1500#186;C（或者1200#186;C~1700#186;C），大可蒸鍍直徑2英寸薄膜樣品，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)
結(jié)構(gòu)＆特點(diǎn)	● 真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品 ● 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，并且樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻 ● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，MAX溫度可達(dá)到1500℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品 ● 精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ ● 氣體流量端口和閥門內(nèi)置用于腔室凈化和CVD可能性
基本參數(shù)	● 溫度：MAX1500℃ （1200℃以上＜1h） ● 建議升溫速率：≤20℃/ min （需根據(jù)工藝調(diào)整） ● 熱偶：B型或者S型熱偶 ● 電源：AC220V，50Hz 大6KW
溫控及加熱源	● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制（如圖1） ● 采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃） ● 可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃） ● 安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖2） ● 溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min） ● 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝（如圖4圖5）圖1 圖2 圖3 圖4 圖5
樣品臺(tái)	● 儀器頂部安裝有樣品臺(tái)，直徑為Φ50mm，并設(shè)置有擋板，方便控制蒸發(fā)鍍膜時(shí)間 ● 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，增加鍍膜均勻性 ● 樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：40mm-85mm
進(jìn)氣口	● 進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 ● 進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量
可選	● 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀-GSL-1700X-EV4（圖一） ● 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝，并用戶可額外選購鎢絲籃及氧化鋁坩堝（圖二圖三）圖1 圖2 圖3
真空計(jì)（可選）	● 可選購一數(shù)顯防腐真空計(jì)，測量范圍為：3.8x10-5-1125Torr
膜厚檢測儀（可選）	● 可在本公司選購精密的石英振動(dòng)薄膜測厚儀安裝在濺射儀上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å （圖一） ● LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)（圖二） ● 同時(shí)可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD（圖三）圖1 圖2 圖3
真空系統(tǒng)（選配）	● 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵 ● 采用渦旋分子泵真空可達(dá)1.0E-5Torr，極限真空度可達(dá)4.0E-6Torr ● 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr ● 真空度達(dá)到10-2torr時(shí)，可蒸發(fā)一些貴金屬，參考材料金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料，可選購數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.) ● 高真空度可達(dá)1.0E-5Torr（采用渦旋分子泵），此時(shí)可蒸發(fā)對氧敏感的材料，參考材料Al. Mg, Li，分子泵上帶有復(fù)合真空計(jì)（可測量真空度為1.0E-7Torr） ● 可在本公司選購各種真空泵和真空計(jì) ● 可選購一個(gè)冷真空阱，以避免真空泵造成污染
外形尺寸	● 490mm330mm560mm
質(zhì)量認(rèn)證	● 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
質(zhì)保期	一年保修，終身技術(shù)支持特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
使用提示	● 為了獲得高真空度，可采用以下做法（1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗（2）抽真空時(shí)，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時(shí) ● 此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作，用于蒸鍍一些在常溫下對氧氣敏感的材料，比如金屬Li等，可在本公司選購開啟式手套箱VGB-6（點(diǎn)擊下圖查看詳情）
使用注意事項(xiàng)	● 使用溫度高于1300℃時(shí)，保溫時(shí)間不可大于1小時(shí)，否則會(huì)損壞密封圈 ● 當(dāng)腔體的各閥門關(guān)閉時(shí)，請勿開啟升溫程序或手動(dòng)調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱 ● 當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時(shí)，不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時(shí)，才可放氣或關(guān)閉真空泵 ● 蒸鍍電流不宜大于40A ● 如誤將控溫儀表設(shè)為手動(dòng)狀態(tài)，程序?qū)⒉荒苷＿\(yùn)行 ● 此設(shè)備儀表程序?yàn)槊耄?00℃之前升溫速度不宜大于0.5℃/S 如果用戶選購了STC-2型薄膜測厚儀，在選用取樣片時(shí)請按：鍍純金屬時(shí)用金取樣片，鍍合金時(shí)用銀取樣片 ● 鎢絲籃必須在真空狀態(tài)下（＜5Pa才能通電加熱，否則會(huì)被氧化）