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VTC-2RF 300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品       牌

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更新時間:2023-01-12 09:33:34瀏覽次數(shù):432次

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經營模式:其他

商鋪產品:405條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:廖勝眉

產品簡介

簡要描述:VTC-2RF是一款小型的射頻(RF)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如300W(13.5MHz)的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗幫手。

詳細介紹

技術參數(shù)

輸入電源

  • 220VAC 50/60Hz, 單相
  • 800W (包括真空泵)

等離子源

一個300W,13.5MHz的射頻電源安裝在移動柜內

(點擊圖片查看詳細資料)

磁控濺射頭

  • 一個 2英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接
  • 靶材尺寸: 直徑為50mm,大厚度6.35mm
  • 一個快速擋板安裝在法蘭上(手動操作,見圖左3)
  • 濺射頭所需冷卻水:流速10L/min(儀器中配有一臺流速為16L/min的循環(huán)水冷機)
  • 同時可選配1英寸濺射頭

真空腔體

  • 真空腔體:160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H,采用高純石英制作
  • 密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封
  • 一個不銹鋼網罩住整個石英腔體,以屏蔽等離子體
  • 真空度:10-3 Torr (采用雙極旋片真空泵)
  • 10-5 torr (采渦旋分子泵)

載樣臺

  • 載樣臺可旋轉(為了制膜更加均勻)并可加熱
  • 載樣臺尺寸:直徑50mm (大可放置2英寸的基片)
  • 旋轉速度:1 - 20 rpm
  • 樣品的MAX加熱溫度為700℃,(短期使用,恒溫不超過1小時),長期使用溫度500℃
  • 控溫精度+/- 10℃

真空泵

我公司有多種真空泵可選,請點擊圖片,或是致電我公司銷售

薄膜測厚儀

  • 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上,可實時監(jiān)控薄膜的厚度,分辨率為0.10 Å
  • LED顯示屏顯示,同時也輸入所制作薄膜的相關數(shù)據

外形尺寸

質保和質量認證

  • 一年質保期,終生維護
  • CE認證

使用注意事項

  • 這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜,所以并不需要太高的真空度
  • 為了較好地排出真空腔體中的氧氣,建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗2-3次,可有效減少真空腔體中的氧含量
  • 請用純度大于5N的Ar來進行等離子濺射,甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水,所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后,再導入到真空腔體內


關鍵詞:真空泵 測厚儀

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