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GSL-1100X-SPC-16M 磁控濺射鍍膜儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的較簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

詳細(xì)介紹

功能特點(diǎn)

設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得the best 鍍膜效果。
鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
濺射頭采用Peltier制冷技術(shù)，可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層。
可用水冷濺射頭、水冷載物臺(tái)。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺(tái)	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置	不需要
靶	Ø50mm
真空室	Ø160mm×120mm
MAX真空度	≤4×10-2mbar
大電流	50mA（100mA）
可設(shè)定長(zhǎng)時(shí)間	9999s
微型真空氣閥	連接Ø3mm軟管
MAX電壓	1600V DC
機(jī)械泵	2L/s
尺寸	360mm×300mm×380mm
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	金靶材	1個(gè)
	2	進(jìn)氣針閥	1個(gè)
	3	保險(xiǎn)絲	2個(gè)