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GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

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更新時間：2023-01-11 10:04:25瀏覽次數(shù)：322次

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設計而成的較簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設備。本機特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶，旋轉樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。

詳細介紹

功能特點

設有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。
通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得the best
鍍膜效果。
鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
已通過CE認證。

技術參數(shù)
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風裝置	不需要
靶	Ø45mm
真空室	Ø160mm×120mm
MAX真空度	≤4×10-2mbar
靶位	3個
大電流	50mA
可設定長時間	900s
微型真空氣閥	連接Ø3mm軟管
MAX電壓	1600V DC
機械泵	2L/s
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材
標準配件	1	金靶材	1個
	2	銀靶材	1個
	3	鋁靶材	1個
	4	進氣針閥	1個
	5	保險絲	2個