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深圳市科晶智達科技有限公司


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VTC-200PV真空旋轉涂膜機

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2023-01-10 09:39:53瀏覽次數(shù):359次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:405條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:廖勝眉

產(chǎn)品簡介

簡要描述:VTC-200PV真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

詳細介紹

VTC-200PV真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

安裝條件
  • 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
  • 1、水:設備配有進出水口
  • 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
  • 3、氣:不需要
  • 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
  • 5、通風裝置:需要
技術參數(shù)
特點

1、設有12組程序,每組包含6個運行階段。

2、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

3、真空度大可以達到-0.08MPa。

4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。

5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

6、電機啟動快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的*性和均勻性。

7、本機可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。

8、可在惰性氣體氣氛下圖層

9、可在真空狀態(tài)下圖層,在此狀態(tài)下圖層,需要粘接基片或夾持基片方可實現(xiàn)

功率350W
轉速500rpm-6000rpm
時間1s-60s
腔體真空度1Torr(VRD-16機械泵連續(xù)工作)
產(chǎn)品規(guī)格尺寸:250mm×290mm;重量:25kg
標準配件真空吸盤1個
夾持吸盤1個
無油真空泵1臺
可選配件VRD-16機械泵


關鍵詞:工作臺 真空泵

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