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VTC-100PA 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)(加熱型)

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更新時(shí)間:2023-01-10 09:35:35瀏覽次數(shù):318次

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簡(jiǎn)要描述:VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備

詳細(xì)介紹

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

功能特點(diǎn)
  • 真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。
  • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
  • 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡(jiǎn)單。
  • 設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。
  • 電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的*性和均勻性。
  • 真空度大可以達(dá)到-0.08MPa。
技術(shù)參數(shù)
安裝條件本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
設(shè)備配有進(jìn)出水口
AC220V 50Hz,必須有良好接地
不需要
工作臺(tái)尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通風(fēng)裝置需要
電機(jī)功率350W
速度范圍500rpm-10000rpm
程序運(yùn)行可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段
增減速率設(shè)置范圍100rpm/s-2000rpm/s
時(shí)間范圍0-60s
吸盤Ø19mm、Ø60mm
本機(jī)可選配加熱功能

● 加溫范圍RT-150℃;

● 加熱蓋,水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚四氟;

● 溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無(wú)關(guān)聯(lián);

尺寸450mm×280mm×340mm
重量20kg
可選配件過(guò)濾器(真空泵用)
標(biāo)準(zhǔn)配件1真空吸盤(含O型圈)2個(gè)
2中心定位器(含4個(gè)定位柱)1個(gè)
3滴膠注射器(20ml)1個(gè)
4注射器支架1個(gè)
5無(wú)油真空泵1臺(tái)
6橡膠管(含卡箍)1根



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