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壓力輸入信號	標(biāo)準(zhǔn)0-10Vdc	輸入功率要求	90-132或180-264?VAC,?50/60?Hz
控制器重復(fù)性	±0.1%?F.S	環(huán)境運行溫度	15℃?-?45℃

APC200壓力流量控制器

APC200-00-0-I-N

APC200壓流控制器基本上是為電容壓力計提供一個電源(±15VDC)，與之相應(yīng)的壓力信號連接顯示器，同時使用PID排氣節(jié)流閥節(jié)流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統(tǒng)，其中,使用“Self-Tuning"功能,可根據(jù)流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數(shù)感知壓力控制系數(shù)。使用此功能作壓力控制時,可以更快地達到所需的壓力。內(nèi)置2個過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。

特點

至多可以連接4個MFC的PCB卡，每張PCB由2通道(2個MFC)組成。

標(biāo)準(zhǔn)的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠(yuǎn)程(RS-485選項)，實現(xiàn)所有遠(yuǎn)程控制都是可能的。

規(guī)格
閥門操作	ATV1000排氣節(jié)流閥，MKS型653和253排氣節(jié)流閥及其他
壓力輸入信號	標(biāo)準(zhǔn)0-10Vdc
輸入功率要求	90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz
設(shè)置點可編程的外部模擬	總共5個，可在任何組合中編程，用于壓力或閥位置（可從前面板調(diào)節(jié)或從前面板旋轉(zhuǎn)RS232設(shè)定、TTL或RS232） 0-10VDC
控制器重復(fù)性	±0.1% F.S
環(huán)境運行溫度	15℃ - 45℃
輸出功率	±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp
模擬量輸出信號	0 - 10vdc用于0-100 %閥門位置,0 - 10vdc用于1-100 %滿量程壓力
尺寸	1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高
顯示	LCD(壓力、位置和外部設(shè)定點讀數(shù))
顯示單位	Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標(biāo)準(zhǔn)
PID控制	標(biāo)準(zhǔn)
遠(yuǎn)程零點	標(biāo)準(zhǔn)
接口	前面板設(shè)置，模擬，TTL和RS232，（RS-485選項）
繼電器輸出	2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻
遠(yuǎn)程控制（打開、關(guān)閉、保持）	標(biāo)準(zhǔn)
位置控制能力	標(biāo)準(zhǔn)