目前各種真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響，一般傳統(tǒng)的真空泵系統(tǒng)已無(wú)法滿足清潔無(wú)油、耐腐蝕、耐可凝性蒸汽以及能在惡劣的工況下運(yùn)行的需要，因此近幾年來(lái)干式真空泵發(fā)展很快，真空獲得產(chǎn)品出現(xiàn)了更新?lián)Q代的局面。
干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。
干式真空泵的優(yōu)點(diǎn)：
成本低：不耗油，無(wú)滴漏
穩(wěn)定性：干式真空泵的性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低，因此減少維修成本。
適應(yīng)力強(qiáng)：工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況
應(yīng)用廣泛
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用范圍：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。
干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到越來(lái)越多制造和應(yīng)用單位的重視，日本堅(jiān)山KASHIYAMA工業(yè)株式會(huì)社，多年來(lái)致力于真空技術(shù)的研究，不斷開(kāi)發(fā)進(jìn)取，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評(píng)價(jià)與信賴。
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