旋片真空泵裝有滑片的偏置轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),使由滑片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵,又稱滑片真空泵。排氣閥浸在油里,油通過(guò)排氣閥和油孔進(jìn)入泵腔,使泵腔內(nèi)所有運(yùn)動(dòng)件的表面覆蓋一層油膜,密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙,防止氣體返流。這些油還能減少排氣腔內(nèi)的有害空間,以消除它們對(duì)極限壓力的影響。因此這種真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵。
隨著技術(shù)的發(fā)展、制造工藝的完善和優(yōu)質(zhì)材料的選用,小型滑片真空泵的轉(zhuǎn)軸可與電動(dòng)機(jī)軸直聯(lián),轉(zhuǎn)速可高達(dá)1450轉(zhuǎn)/分,大大提高了泵的抽氣速率和減輕了泵的重量。