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XP-703D微量氣體檢漏儀/氣體泄漏報(bào)警儀/氣體濃度分析儀砷化三氫、*、硅烷、氫氣、

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XP-703D微量氣體檢漏儀/氣體泄漏報(bào)警儀/氣體濃度分析儀砷化三氫、*、硅烷、氫氣、

詳細(xì)介紹

XP-703D 特長(zhǎng)
	適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測(cè)。
	通過報(bào)及蜂鳴器即可得知?dú)怏w泄漏。

規(guī)格

XP-703D

檢測(cè)對(duì)象氣體

半導(dǎo)體材料氣體(砷化三氫、*、硅烷等)

檢測(cè)原理

型半導(dǎo)體式

能檢測(cè)的泄漏量

能檢測(cè)的濃度

	砷化三氫
	AsH3
	1.0×10^-7
	0.2

	*
	PH3
	1.5×10^-7
	0.3



	0.5×10^-7
	0.1

	硅烷
	SiH4
	2.5×10^-7
	0.5

	氫氣
	H2
	5×10^-7 Pa?m3 /s
	1.0 ppm

應(yīng)答時(shí)間

10 秒

檢測(cè)表示

蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)音且警報(bào)燈閃爍

電源 ※1

5號(hào)錳干電池4節(jié)

電池使用時(shí)間

使用堿性干電池使用約9小時(shí)(使用錳干電池約3小時(shí))

使用溫度范圍

0℃～ 40℃

外形尺寸

W68×H155×D32㎜

重量

約 400g

附件

皮套、排放過濾器、過濾片、檢查氣體、標(biāo)準(zhǔn)附屬品、5號(hào)錳干電池4本

另售的選購(gòu)件

Ni-Cd 電池*充電器、耳機(jī)

關(guān)鍵詞：過濾器

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