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鄭州煒盛電子科技有限公司
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更新時間:2023-02-14 08:03:46瀏覽次數(shù):259次
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低功耗硅基微熱板GM-NSD-02
GM-NSD-02是一款低能耗的硅基微熱板,可用于微型氣體傳感器或其他加熱型器件的研發(fā)。
GM-NSD-02包含有兩組焊點,一組為加熱絲的引出,一組為插齒狀測試電極。GM-NSD-02可耐受約700℃的熱處理,在經受熱處理之后仍可引線邦定,但加熱絲的阻值會有所上升,金屬的表面光澤度會有所降低。
1、微熱板采用MEMS工藝制作,為金屬氧化物半導體氣體傳感器提供了一個可靠的平臺,能耗低、加熱響應快。
2、微熱板采用懸膜式結構,包含一層堅韌的二氧化硅膜,里層包覆S型鉑作為加熱絲為金屬氧化物提供合適的工作溫度。微熱板的使用溫度高達400℃,同時可根據鉑的電阻溫度系數(shù)計算核心區(qū)的溫度其熱響應時間只有數(shù)毫秒。
可用于微型氣體傳感器或其他加熱型器件的研發(fā)
關鍵參數(shù)
尺寸:1.0×1.0×0.3mm
加熱絲材料:鉑
冷態(tài)阻值:85Ω±10%
熱響應時間:<10ms
工作電壓:<4V
失效電壓:≈5V
GM-NSD-02的芯片尺寸為:1.0×1.0×0.3mm,其中加熱區(qū)的面積為0.3×0.3mm,懸膜的尺寸為0.6×0.6mm
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