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低功耗硅基微熱板GM-NSD-02

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更新時(shí)間：2023-02-14 08:03:46瀏覽次數(shù)：312次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

低功耗硅基微熱板GM-NSD-02

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

GM-NSD-02是一款低能耗的硅基微熱板，可用于微型氣體傳感器或其他加熱型器件的研發(fā)。

GM-NSD-02包含有兩組焊點(diǎn)，一組為加熱絲的引出，一組為插齒狀測(cè)試電極。GM-NSD-02可耐受約700℃的熱處理，在經(jīng)受熱處理之后仍可引線邦定，但加熱絲的阻值會(huì)有所上升，金屬的表面光澤度會(huì)有所降低。

傳感器特點(diǎn)

1、微熱板采用MEMS工藝制作，為金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器提供了一個(gè)可靠的平臺(tái)，能耗低、加熱響應(yīng)快。

2、微熱板采用懸膜式結(jié)構(gòu)，包含一層堅(jiān)韌的二氧化硅膜，里層包覆S型鉑作為加熱絲為金屬氧化物提供合適的工作溫度。微熱板的使用溫度高達(dá)400℃，同時(shí)可根據(jù)鉑的電阻溫度系數(shù)計(jì)算核心區(qū)的溫度其熱響應(yīng)時(shí)間只有數(shù)毫秒。