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光學精密機械-超高精度激光干涉儀

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產(chǎn)品型號F型

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更新時間：2020-06-05 14:11:06瀏覽次數(shù)：368次

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長春市海洋光電有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡介：
D7型λ/1000超高精度激光干涉儀，設計緊湊、用戶界面友好，0.6nm*的測量精度。非常好地測量高精密光學系統(tǒng)、復雜的表面形狀、大尺寸非球面偏差；揭示起源于制造技術的面形特征和缺陷。這對于建造精密的衛(wèi)星相機、高分辨望遠鏡、強大的微芯片，乃至超快計算機都是*的重要手段。

主要特點：
? D7型激光干涉儀提供0.6nm的測試準確度和*的重復性（世界紀錄）
? RMS重復

詳細介紹

簡介：

D7型λ/1000超高精度激光干涉儀，設計緊湊、用戶界面友好，0.6nm*的測量精度。非常好地測量高精密光學系統(tǒng)、復雜的表面形狀、大尺寸非球面偏差；揭示起源于制造技術的面形特征和缺陷。這對于建造精密的衛(wèi)星相機、高分辨望遠鏡、強大的微芯片，乃至超快計算機都是*的重要手段。

主要特點：

• D7型激光干涉儀提供0.6nm的測試準確度和*的重復性(世界紀錄)

• RMS重復性：< 0.06 nm (λ/10500)

• 檢測球面、平面、非球面及自由形體

• 測量光學系統(tǒng)的透射波陣面

• 曲率半徑測量

• 數(shù)據(jù)獲?。合嘁聘缮鏈y量法(PSI)

• 尺寸：490mm x 300mm x 260mm

• D7型激光干涉儀：緊湊、可靠、使用方便

• 測試過程簡便，只需三個步驟：

1. 把待測的光學系統(tǒng)或部件放在支架上

2. 用軟件界面準直調(diào)整測試部件

3. 調(diào)整干涉條紋并按動測量按鈕即可進行測量

優(yōu)點：

優(yōu)點	好處
理想?yún)⒖迹河捎诓捎梦锢韰⒖?/span>，因而沒有傳輸誤差	1. 省時：因為無需改變大量參考 2. 節(jié)省成本：因為無需購買昂貴的參考裝置
比標準性能傳輸?shù)姆扑髑蛎娓缮鎯x有超過100倍更高的精度	節(jié)省時間和成本：因為不需要中間儀器和附加的方法來提高精度
D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗更多的表面特征	由于在安裝和光學系統(tǒng)上市之前更好地揭示了制造誤差，從而節(jié)省了成本
穩(wěn)定性和堅固性	1. 省時：因為*的重復性提供準確的測試數(shù)據(jù)，無需反復地證明測試結(jié)果 2. 節(jié)省成本：因為D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環(huán)境條件
應用范圍寬	節(jié)省時間和成本：由于緊湊和簡單的設置，可在實驗室或工廠（現(xiàn)場）垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀
沒有可追溯的誤差	由于在測量非球面和自由形體時簡化的設置，從而節(jié)省時間和成本

主要技術參數(shù)：

性能
精度	≤0.6 nm (λ/1000)
RMS波前重復性	≤0.23 nm (λ/2800)
數(shù)據(jù)采集時間	10ms
光學
系統(tǒng)數(shù)值孔徑(NA)	0.6 (F數(shù) 0.83)
系統(tǒng)成像數(shù)值孔徑(NA)	0.55 (F數(shù) 0.91)
成像變焦系統(tǒng)	軟件界面控制4 x光學變焦
成像	具有偽影去除選項的相干（無散射玻璃）
CCD相機	0.5k × 0.5k (可選：1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k，也可按照客戶要求)
高分辨率	λ/8000
像素深度（數(shù)字化）	12位
曝光時間	少40μs
傳感器像素分辨	500×500，直徑≥50mm
聚焦控制	電動及軟件界面控制
光學聚焦范圍	±2米
激光器
激光類型和波長	穩(wěn)定的He-Ne激光器，波長：632.8nm
激光功率	2mW（更高功率可根據(jù)用戶的要求提供）
偏振	可調(diào)節(jié)測試表面性質(zhì)
相干	≥100米
系統(tǒng)
數(shù)據(jù)采集	相移干涉測量（PSI）或靜態(tài)
PSI方法	PZT電子相移
準直范圍	±2.5度
準直類型	雙點
準直十字線	計算機產(chǎn)生