詳細(xì)介紹
認(rèn)證隔爆單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理
型號(hào):YD322-Si
單晶硅壓力/差壓變送器用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力,然后將其轉(zhuǎn)變成4-20mAHART電流信號(hào)輸出,也可與HART375或BST Modem相互通信,通過他們進(jìn)行參數(shù)設(shè)定、過程控制。與傳統(tǒng)壓力變送器的區(qū)別在于它使用的是納米單晶硅作為傳感器材料。
YD系列單晶硅智能變送器是本公司引進(jìn)*進(jìn)技術(shù),進(jìn)口國外單晶硅傳感器,自行研制開發(fā)的帶HART通訊協(xié)議的智能壓力變送器,是新一代高性能智能差壓、壓力變送器。它采用目前上*的微機(jī)械單晶硅傳感器技術(shù),利用單晶硅材料的穩(wěn)定性與重復(fù)性特點(diǎn),通過微機(jī)械加工工藝與激光焊接封裝工藝,可靠性與穩(wěn)定性*,單向過載于靜壓影響極小。HART數(shù)字通信技術(shù)增添了智能化與數(shù)字通信功能,進(jìn)一步滿足了工業(yè)現(xiàn)場測量隊(duì)儀表高可靠性、高穩(wěn)定性與智能化的要求。
傳感器模塊采用全焊接技術(shù),內(nèi)部擁有一個(gè)整體化的過載膜片,一個(gè)壓力傳感器和一個(gè)溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補(bǔ)償?shù)膮⒖贾?。壓力傳感器的正壓?cè)與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負(fù)壓側(cè)與傳感器膜盒的低壓腔相連,壓力通過隔離膜片和填充液,傳遞給傳感器內(nèi)的硅芯片,使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化,從而導(dǎo)致檢測系統(tǒng)輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比,再由適配單元和放大器轉(zhuǎn)化成一標(biāo)準(zhǔn)化信號(hào)輸出。
單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。
單晶硅壓力變送器當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
主要參數(shù):
測量范圍: 0-1kPa-10MPa
輸出信號(hào):4-20mA,4-20mA+HART
參考精度:±0.2%URL
穩(wěn)定性:±0.2%URL/ 年
膜片:SS316L,哈氏合金 C
介質(zhì)溫度:-40~120℃
防護(hù)等級(jí):IP67
過程連接:M20*1.5(M),G1/2(M),G1/4(M),1/2-14NPT(M) 等
測量介質(zhì):液體、氣體、蒸汽
認(rèn)證: CE、隔爆
認(rèn)證隔爆單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理