廣東氣體流量傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高全量程高穩(wěn)定性全量程高精度和優(yōu)良的重復(fù)性低功耗低壓損響應(yīng)時(shí)間快。

 氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

廣東氣體流量傳感器主要參數(shù)：性能參數(shù) FS4001 單位通 徑 1.0 1.8 mm 大流量 30, 100, 200 500, 1000 SCCM 量程比 ≥100:1 精 度 ±(1.5+0.2FS) % 重復(fù)性 0.25 %讀數(shù)零點(diǎn)輸出飄移 ±30 mV 輸出飄移 ±0.12 %/oC 響應(yīng)時(shí)間 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 mses 工作電源 8~18Vdc,50mA 輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc 大流量壓損 350 300 pa 大工作壓力 0.5 MPa 工作溫度 -10 ~ +55 oC 存儲(chǔ)溫度 -20 ~ +65 oC 工作濕度 <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） 機(jī)械接口 可拆式軟管接頭 校準(zhǔn)方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa 重量 15 g