離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備1、產(chǎn)品用途
本設(shè)備在硅片或光學(xué)玻璃等沉底材料上沉積半導(dǎo)體薄膜材料，可用于SiOx、 SiNx、 SiONx、a-Si、石墨烯等材料的制備，在微電子、新材料、新能源等方向有廣泛應(yīng)用。通過穩(wěn)定可靠的高精度真空機(jī)械手臂，將基片在工藝室和傳輸室間傳輸，實(shí)現(xiàn)工藝室不放大氣，連續(xù)生產(chǎn)。配置高性能等離子體，可根據(jù)客戶需求定制等離子體參數(shù)。

離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備、1、產(chǎn)品用途
     本設(shè)備在硅片或光學(xué)玻璃等沉底材料上沉積半導(dǎo)體薄膜材料，可用于SiOx、 SiNx、 SiONx、a-Si、石墨烯等材料的制備，在微電子、新材料、新能源等方向有廣泛應(yīng)用。通過穩(wěn)定可靠的高精度真空機(jī)械手臂，將基片在工藝室和傳輸室間傳輸，實(shí)現(xiàn)工藝室不放大氣，連續(xù)生產(chǎn)。配置高性能等離子體，可根據(jù)客戶需求定制等離子體參數(shù)。
2、技術(shù)參數(shù)
 

基片尺寸	可選：4"、6"、8"、12"
極限真空度	5×10-1Pa （機(jī)械泵配置）
前級(jí)泵	可選：機(jī)械泵、干泵
加熱器	800℃，可選配升降及旋轉(zhuǎn)功能（更高溫度可定制）
工藝氣體	配3路MFC充氣，氣體種類可選，更多需求可定制
水路系統(tǒng)	采用進(jìn)口水路檢測(cè)傳感器，實(shí)現(xiàn)各路水流量及溫度的監(jiān)控
軟件控制	可編輯、儲(chǔ)存多種工藝配方，任意調(diào)用，適用于工藝研究
	具備“一鍵啟動(dòng)式（全自動(dòng)）生產(chǎn)”功能，適用于小批量生產(chǎn)
	賬戶分三級(jí)權(quán)限設(shè)置，提高系統(tǒng)安全性及工藝保密性
	各種安全互鎖設(shè)計(jì)，防止誤操作
其他	如有其他特殊需求可定制

離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備

成都華聚科技有限公司位于成都市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（龍泉驛），是一家以自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)為核心，致力于數(shù)字化智能制造裝備的高科技企業(yè)。 

       公司與國(guó)內(nèi)外多個(gè)研究所、高校和企業(yè)*合作，始終以超前的科技和強(qiáng)大的創(chuàng)新能力，服務(wù)于客戶。 

       公司主營(yíng)業(yè)務(wù)覆蓋：Cluster團(tuán)簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、CVD設(shè)備、核心部件（機(jī)械手、加熱器、Cluster團(tuán)簇中心傳送平臺(tái)）、定制化真空設(shè)備、機(jī)電一體自動(dòng)化服務(wù)（機(jī)電物聯(lián)網(wǎng)服務(wù)）等一系列的產(chǎn)品或解決方案。 

       公司始終以“技術(shù)體現(xiàn)我們的智慧，質(zhì)量體現(xiàn)我們的尊嚴(yán)” 作為公司經(jīng)營(yíng)理念，同時(shí)加強(qiáng)售前售后服務(wù)，我們始終以“質(zhì)量良好、服務(wù)優(yōu)先、技術(shù)*”作為追求目標(biāo)。
       公司匯聚了眾多相關(guān)領(lǐng)域的人才，針對(duì)客戶的產(chǎn)品特點(diǎn)提供專業(yè)解決方案，更能以優(yōu)質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)產(chǎn)品超越客戶的期望，深受廣大客戶的認(rèn)可和贊譽(yù)！
       公司現(xiàn)有26人專業(yè)團(tuán)隊(duì)，并另聘請(qǐng)研究員1人，大學(xué)材料教授和等離子物理團(tuán)隊(duì)6人，高級(jí)工程師2人，涵蓋真空工程、材料科研、等離子物理，器件物理、化管理等方面的各種人才。

Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).