VPE氣相外延爐

設(shè)備概述

氣相外延是一種單晶薄層生長方法。氣相外延廣義上是化學(xué)氣相沉積的一種特殊方式性質(zhì)：在氣相狀態(tài)下，將半導(dǎo)體材料淀積在單晶片上，使它沿著單晶片的結(jié)晶軸方向生長出一層厚度和電阻率合乎要求的單晶層，這一工藝稱為氣相外延。

其特點(diǎn)有

（1）外延生長溫度高，生長時(shí)間長，因而可以制造較厚的外延層；

（2）在外延過程中可以任意改變雜質(zhì)的濃度和導(dǎo)電類型。工業(yè)生產(chǎn)常用的氣相外延工藝有：四氯化硅（鍺）外延，硅（鍺）烷外延、三氯氫硅及二氯二氫硅等（二氯二氫硅具有淀積溫度低，沉積速度快，淀積成膜均勻等優(yōu)點(diǎn)）外延等。。已廣泛的應(yīng)用于霍爾器件、耿氏二極管、場效應(yīng)晶體管等微波器件中。

   技術(shù)參數(shù)  

    ● 結(jié)構(gòu)形式：立式或臥式 

    ● 工作溫度：300℃～1000℃

    ● 恒溫區(qū)精度：±1℃ 

    ● 氣體流量精度：±2%FS或±5%FS 

 青島微弘設(shè)備技術(shù)有限公司（以下簡稱青島微弘）是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的半導(dǎo)體新能源設(shè)備、光伏太陽能新能源裝備、材料熱處理設(shè)備的綜合性現(xiàn)代企業(yè)，自創(chuàng)立以來，通過產(chǎn)業(yè)經(jīng)營與資本運(yùn)營并舉發(fā)展，已形成了光伏太陽能電池、功率半導(dǎo)體、鋰電池材料、磁性材料、粉末冶金、硬質(zhì)合金、陶瓷金屬化等多行業(yè)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)布局。公司立足山東，*，業(yè)務(wù)覆蓋國內(nèi)大部分省市和地區(qū)。

青島微弘擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品服務(wù)廣泛應(yīng)用于行業(yè)內(nèi)的大專院校、科研院所、半導(dǎo)體制造、太陽能光伏制造、鋰電池材料制造、高性能磁性材料制造等。核心產(chǎn)品方面，太陽能電池行業(yè)用的擴(kuò)散爐等已達(dá)到國內(nèi)*水平，可以替代進(jìn)口設(shè)備。在功率半導(dǎo)體行業(yè)，成功研制生產(chǎn)真空擴(kuò)散氧化爐、真空合金爐、LPCVD等產(chǎn)品，另外真空熱處理爐、氫氣爐等產(chǎn)品也已得到廣泛的應(yīng)用。       

青島微弘擁有精良的科研、設(shè)計(jì)、制造、服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員單位、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟會(huì)員單位、中國磁性材料與器件協(xié)會(huì)會(huì)員單位，承接并出色完成了一系列國家重點(diǎn)項(xiàng)目的設(shè)備的設(shè)計(jì)制造，為國家863計(jì)劃等重大科技攻關(guān)項(xiàng)目做出了突出貢獻(xiàn)。       

 公司堅(jiān)持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務(wù)是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是微弘永恒的追求”的經(jīng)營理念，加快推進(jìn)“高度專業(yè)化” 發(fā)展戰(zhàn)略，致力于實(shí)現(xiàn)員工成長、客戶滿意、企業(yè)發(fā)展、社會(huì)進(jìn)步的多贏。

● 升溫速率：0～15℃/min

● 轉(zhuǎn)速：0～20轉(zhuǎn)/分

● 適合2～4〃工藝  

● 漏氣率：≤1×10﹊9mbar/s

VPE氣相外延爐