VPE氣相外延爐

設備概述

氣相外延是一種單晶薄層生長方法。氣相外延廣義上是化學氣相沉積的一種特殊方式性質：在氣相狀態(tài)下，將半導體材料淀積在單晶片上，使它沿著單晶片的結晶軸方向生長出一層厚度和電阻率合乎要求的單晶層，這一工藝稱為氣相外延。

其特點有

（1）外延生長溫度高，生長時間長，因而可以制造較厚的外延層；

（2）在外延過程中可以任意改變雜質的濃度和導電類型。工業(yè)生產常用的氣相外延工藝有：四氯化硅（鍺）外延，硅（鍺）烷外延、三氯氫硅及二氯二氫硅等（二氯二氫硅具有淀積溫度低，沉積速度快，淀積成膜均勻等優(yōu)點）外延等。。已廣泛的應用于霍爾器件、耿氏二極管、場效應晶體管等微波器件中。

   技術參數(shù)  

    ● 結構形式：立式或臥式 

    ● 工作溫度：300℃～1000℃

    ● 恒溫區(qū)精度：±1℃ 

    ● 氣體流量精度：±2%FS或±5%FS 

 青島微弘設備技術有限公司（以下簡稱青島微弘）是一家集研發(fā)、生產、銷售為一體的半導體新能源設備、光伏太陽能新能源裝備、材料熱處理設備的綜合性現(xiàn)代企業(yè)，自創(chuàng)立以來，通過產業(yè)經營與資本運營并舉發(fā)展，已形成了光伏太陽能電池、功率半導體、鋰電池材料、磁性材料、粉末冶金、硬質合金、陶瓷金屬化等多行業(yè)發(fā)展的產業(yè)布局。公司立足山東，*，業(yè)務覆蓋國內大部分省市和地區(qū)。

青島微弘擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經驗，產品服務廣泛應用于行業(yè)內的大專院校、科研院所、半導體制造、太陽能光伏制造、鋰電池材料制造、高性能磁性材料制造等。核心產品方面，太陽能電池行業(yè)用的擴散爐等已達到國內*水平，可以替代進口設備。在功率半導體行業(yè)，成功研制生產真空擴散氧化爐、真空合金爐、LPCVD等產品，另外真空熱處理爐、氫氣爐等產品也已得到廣泛的應用。       

青島微弘擁有精良的科研、設計、制造、服務團隊，為中國半導體設備行業(yè)協(xié)會會員單位、國家半導體照明工程研發(fā)及產業(yè)聯(lián)盟會員單位、中國磁性材料與器件協(xié)會會員單位，承接并出色完成了一系列國家重點項目的設備的設計制造，為國家863計劃等重大科技攻關項目做出了突出貢獻。       

 公司堅持“質量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是微弘永恒的追求”的經營理念，加快推進“高度專業(yè)化” 發(fā)展戰(zhàn)略，致力于實現(xiàn)員工成長、客戶滿意、企業(yè)發(fā)展、社會進步的多贏。

● 升溫速率：0～15℃/min

● 轉速：0～20轉/分

● 適合2～4〃工藝  

● 漏氣率：≤1×10﹊9mbar/s

VPE氣相外延爐