無塵室的分類

氣流方式

潔凈度

風(fēng)速
(/s)

換氣次數(shù)(次/h)

吹入口、吸入口

優(yōu)點(diǎn)

缺點(diǎn)

價(jià)格比

垂直層流方式

Class1
-
100

0.25
-
0.40

200
-
600

吹出：天花板的80%以上。 
吸入：壁板的40%以上，從側(cè)面板亦可。

效果* 
不易被作業(yè)人員及作業(yè)狀態(tài)所影響 
開始運(yùn)轉(zhuǎn)后即刻變?yōu)榉€(wěn)定狀態(tài) 
粉塵的堆積及再漂浮極少 
管理容易

需注意天花板部的無效空間（照明等） 
換過濾器教麻煩 
設(shè)備費(fèi)非常高 
房屋的擴(kuò)充較困難

100

水平層流方式

Class1

0.45
-
0.50

200
-
600

吹出：壁板的80%以上。 
吸入：壁板的40%以上，從天花板亦可。

運(yùn)轉(zhuǎn)開始后即刻變?yōu)榉€(wěn)定狀態(tài)構(gòu)造簡(jiǎn)單

上游的影響會(huì)在下游出現(xiàn) 
人員及機(jī)器的配置及管理須注意 
設(shè)備費(fèi)非常高 
房屋的擴(kuò)充較困難

50-80

Class1,000

——

100
-
200

30-50

亂流方式(傳統(tǒng)式)

Class1,000
-
100,000

——

30
-
60

吹出：過濾器吹出口較好。 
吸入：從地板附近。

構(gòu)造簡(jiǎn)單 
設(shè)備費(fèi)低 
房屋的擴(kuò)充比較容易 
若再加用無塵臺(tái)可確保高潔凈度

由于氣流的亂流污染粒子有可能在室內(nèi)循環(huán) 
到穩(wěn)定狀態(tài)須花一段時(shí)間 
人員及機(jī)器的配置及管理須注意

10-40