半導體微電子潔凈車間

化原理：      氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗 →  初效凈化 重復以上過程。

氣流方式：      頂送風，側下回風，具體根據車間生產工藝確定。

凈化參數：      凈化參數需符合聲學指標，光照度指標，溫度指標，濕度指標，空氣壓差指標，環(huán)境所需新風指標等；

結構材料：      墻、頂板材-------多采用50mm厚的金屬面夾芯板制作，配合潔凈型材，其特點為美觀、剛性強。

                        地面---------可采用環(huán)氧自流坪地坪、高級耐磨塑料地板或高架地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

規(guī)劃設計：      設計前需了解以下資料：1、 項目是改造還是新建項目；2、 項目所位于建筑的結構類型；3、 建筑物層高，板底標高、梁底標高；4、 水、電、路三通情況如何； 5、 潔凈室的使用功能；6、 生產車間的工藝布置圖，車間人員數量； 7、設備的參數：如外形尺寸、運行尺寸、用電功率、用汽、水量，排氣量；對水、電、汽的要求。

潔凈室構成：    1、吊頂、墻體、地面、門窗系統(tǒng)；2. 凈化空調與通風系統(tǒng)；3. 冷熱源系統(tǒng)；4. 照明系統(tǒng)；5. 動力系統(tǒng)工程；6. 通信系 統(tǒng)；7. 監(jiān)控管理系統(tǒng)；8. 自動化控制系統(tǒng)工程；9. 給排水系統(tǒng)工程；10. 消防系統(tǒng)；11. 工藝管道系統(tǒng)；12. 生產設備

半導體微電子潔凈車間