半導(dǎo)體工業(yè)百級凈化工程

詳情說明

「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室凈化原理

氣流→初效空氣處理→空調(diào)→中效空氣處理→風(fēng)機送風(fēng)→凈化管道→高效送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（細菌）→ 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

無塵室技術(shù)參數(shù)

換氣次數(shù)：十萬級10－15次/小時；萬級15－25次/小時；千級50－52次/小時;百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa。 溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；
相對濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補充量：總送風(fēng)量的20％－30％； 照度：≥300Lux。

無塵室結(jié)構(gòu)材料

1.無塵室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。無塵室門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.無塵室地面采用環(huán)氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。
3.無塵室凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF"阻燃型的保溫板做保溫。
無塵室及無塵室空氣中懸浮粒子潔凈度等級：

百級凈化車間使用場合：

1.百級凈化車間適用于半導(dǎo)體工業(yè)中的組裝試驗室、研磨車間；
2.適用于藥品醫(yī)學(xué)醫(yī)院的無菌病房、藥劑室科研保管室；
3.適用于食品釀造車間；
4.適用于光學(xué)儀器的鏡片研磨車間、組裝車間等。

半導(dǎo)體工業(yè)百級凈化工程