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凈化工程公司對于光學(xué)微電子清潔
光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,今朝凈化工程公司已經(jīng)是半導(dǎo)體、周詳制作、液晶制作、光學(xué)制作、線路板制作和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食物制作等行業(yè)*的緊張舉措措施。近幾年來,因為技巧之創(chuàng)新發(fā)展,對付產(chǎn)物的高周詳度化、細小型化之需要更加急切,如超大型積體電路之研討制作,已成為世界各國在科技發(fā)展上極其看重的名目,而凈化工程公司的計劃理念及施工技巧在行業(yè)中則處于*地位。
光學(xué)微電子凈化工程一樣平常包含:
1、 清潔生產(chǎn)區(qū)
2、 清潔輔助間(包含職員凈化用房、物料凈化用室和部門生活用室等)
3、 治理區(qū)(包含辦公、值班、治理和休息等)
4、 裝備區(qū)(包含凈化空調(diào)系統(tǒng)利用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱裝備用房)
光學(xué)微電子凈化工程公司凈化理論
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走灰塵細菌等顆粒 → 回風(fēng)百頁窗→初效凈化 反復(fù)以上進程,即可達到凈化目標。
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
均勻風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 夏季>16℃;夏日 <26℃;顛簸±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%一下為好;電子車間濕度略高免得發(fā)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)彌補量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
光學(xué)微電子凈化工程公司布局資料
1. 凈化廠房墻、頂板材一樣平常多采納50mm厚的夾芯彩鋼板制作,其特色為雅觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一樣平常采納公用氧化鋁型材制作。
2.高空可采納環(huán)氧自流坪地坪或高檔耐磨塑料地板,有防靜電請求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫后果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,雅觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
凈化工程公司對于光學(xué)微電子清潔