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集成電路板生產(chǎn)用超純水處理設(shè)備

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更新時間:2022-03-31 13:34:59瀏覽次數(shù):263

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產(chǎn)品簡介

集成電路板生產(chǎn)用超純水處理設(shè)備設(shè)備型號YB-CCS-001產(chǎn)水量可根據(jù)客戶要求而定適用范圍產(chǎn)品介紹集成電路生產(chǎn)制造過程中經(jīng)常會用到超純水

詳細(xì)介紹

集成電路板生產(chǎn)用超純水處理設(shè)備

  • 設(shè)備型號

    YB-CCS-001
  • 產(chǎn)水量

    可根據(jù)客戶要求而定
  • 適用范圍

產(chǎn)品介紹
集成電路生產(chǎn)制造過程中經(jīng)常會用到超純水,超純水設(shè)備主要采用反滲透技術(shù)和EDI技術(shù)相結(jié)合的制水工藝,保證設(shè)備的出水水質(zhì)。

EDI設(shè)備一般以二級反滲透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以高達(dá)18 MΩ.cm(25℃),但是根據(jù)去離子水用途和系統(tǒng)配置設(shè)置,EDI超純水適用于制備電阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。EDI模塊將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。一定數(shù)量的EDI單元間被格板隔開,形成濃水室和淡水室。在直流電的推動下,通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進(jìn)入到濃水室而在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統(tǒng),成為濃水。
工藝設(shè)計
1、采用高效反滲透加EDI方式,其流程如下(工藝):自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性
炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng)→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水
箱→EDI水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

2、采用離子交換方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱
→低壓泵→精密過濾器→陽樹脂床→陰樹脂床→陰陽樹脂混合床→微孔過濾器→用水點

3、采用兩級反滲透方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水
箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透主機(jī)→PH調(diào)節(jié)→混合器→二級反滲透主機(jī)(反滲透膜表面帶正電荷)→
純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
設(shè)備特點
1、連續(xù)運(yùn)行,產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定,容易實現(xiàn)全自動控制。
2、超純水設(shè)備無須用酸堿再生,且不會因再生而停機(jī)。
3、節(jié)省了再生用水及再生污水處理設(shè)施,產(chǎn)水率高(可達(dá)95%)。
4、設(shè)備單元模塊化,可靈活的組合各種流量的凈水設(shè)施。
5、無須酸堿儲備和酸堿稀釋運(yùn)送設(shè)施,使用安全可靠,避免工人接觸酸堿。
6、安裝簡單,占地面積小,降低運(yùn)行及維護(hù)成本。
技術(shù)參數(shù)
電導(dǎo)率:2-10μS/cm(25℃)
PH值:6.5-9
水溫度:5~35℃
總硬度:<0.5ppm
有機(jī)物:<0.5 ppm,TOC為零
氧化物:≤0.05ppm
鐵、錳:<0.01ppm
二氧化硅:<0.05 ppm
二氧化碳:<5ppm

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